磁控溅射MoS2Mo梯度复合镀层的摩擦磨损性能研究.pdfVIP

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2018-01-08 发布于广东
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磁控溅射MoS2Mo梯度复合镀层的摩擦磨损性能研究.pdf

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VoL38 第38卷增刊哈尔滨工业大学学报 Sup． 200 2006 6年7月 HARBIN July JOURNALOF INS唧rIEOFTECHNOLOGY 磁控溅射MoS2／Mo梯度复合镀层的摩擦磨损性能彭仕敏1，夏正志1，涂江平1，何丹农2 (1．浙江大学材料科学与工程系，浙江杭州310027。E—mail：tujp@cmsce．zju．edu．cn， 2．上海交通大学材料与工程学院，上海200030) 摘要：用磁控溅射方法共溅射MoS2靶及金属Mo靶，溅射过程中逐渐调整Mo靶溅射功率至零，制备了痕进行表征，用球一盘式磨擦磨损仪在潮湿空气环境中测试了梯度复合镀层的摩擦磨损性能，用划痕迹仪测量镀层的结合力．结果表明，初始功率为30W的MoS2／Mo梯度复合镀层摩擦系数最低，接近纯MoS：镀层． MoS2／Mo梯度复合镀层的结合力都比纯MoS：镀层好，均达到100N以上，表现出良好的抗磨损性能．关键词：磁控溅射；MoS2；梯度镀层；摩擦磨损性能中图分类号：THll7．3 文献标识码：A 文章编号：0367—6234(2006)增刊一0157—04 Frictionandwearbehaviorof gradientcompositecoatings MoS2／Mo depositedbymagnetronsputtering 2 PENGShi—min 1，XIAZheng—zhi1，TUJiang．ping1，HEDan—nong MaterialsScienceand (1．Dept．of Engineering，ZhejiangUniversity，Hangzhou of and MaterialsScience Jiao zju．edu．cn；2．School Engineefing，ShanghaiTongUniversity，Shanghai200030，China) were withdifferentinitial ofMo Abstract：MoS2／Mogradient coatings targetby composite deposited power of were forcemi— closedunbalanced characterizedatomic magnetron morphologies by sputtering．The coatings electron frictionandwear ofthe croscope(AFM)andscanning microscopy(SEM)．Thepropertiescoatings were a