薄膜生长的宽光谱监控技术及其应用研讨.pdfVIP

指导小组成员名单 郑玉祥 教授 张荣君 副教授 洲Y…2㈣0Ⅲ6㈣9 iiii●■_ …7Ⅲ2 2．1主要实验仪器及设备…………………………………………………………………．．19 2．1．1 AFDS．1100高性能薄膜生长系统………………………………………………19 2．1．2光源………………………………………………………………………………………………………．23 2．1．3光谱仪…………………………………………………………………………．．24 2．2光路及电路系统…………………………………………………………………………28 2．2．1出射光路搭建及调节……………………………………………………………28 2．2．2接收光路搭建及调节…………………………………………………………．．31 2．2．3监控电路………………………………………………………………………．．35 2．3光谱数据获取及软件系统……………………………………………………………．36 2．3．1光学薄膜的计算理论…………………………………………………………一37 2．3．2模拟光谱获取及实验数据去噪处理…………………………………………。39 2．3．3系统软件功能及界面…………………………………………………………。42 2．4薄膜生长准备工作及监控流程介绍……………………………………………………43 2．4．1生长前准备工作及真空环境获取………………………………………………43 2．4．2监控生长流程…………………………………………………………………。45 2．5卅、l砉…………………………………………………………………………………………………………………46 参考文献……………………………………………………………………………………47 第三章红外宽光谱监控制各窄带滤波片……………………………………………………．．49 3．1窄带滤波片的膜系设计………………………………………………………………．50 3．1．1窄带滤波片设计原理……………………………………………………………50 3．1．2膜系结构对窄带滤波片光学特性影响………………………………………。52 3．1．3折射率误差对窄带滤波片光学特性影响………………………………………53 3．1．4厚度误差对窄带滤波片光学特性影响………………………………………。54 3．1．5膜系修正…………………………………………………………………………56 3．2光谱特征分析及数据处理……………………………………………………………．57 3．2．1光谱特征随生长厚度变化……………………………………………………。57 3．2．2数据处理方法及改进……………………………………………………………59 3．3衬底干涉噪声处理……………………………………………………………～……。62 3．3．1衬底干涉…………………………………………………………………………62 3．3．2衬底干涉软处理方法……………………………………………………………63 3．3．3衬底干涉硬处理方法……………………………………………………………64 3．4窄带滤波片的生长……………………………………………………………………．65 3．4．1样品制备参数设定……………………………………………………………一65 3．4．2K9玻璃衬底的窄带滤波片制备…………………………………………………66 3．4．3硅片衬底的窄带滤波片制各…………………………………………………．．68 3．5实验光谱分析……………………………………………………………………………71 3．5．1实验与理论光谱比较…………………………………………………………。71 3．5．