表面粗度濾波軟體之驗證程序與方法研究.pdfVIP

表面粗度滤波软髓之黢麓程序舆方法 陈彦良谢佩芬 (工紫技街研究院量测技街骚展中心，新竹300) 摘要 本文依循英国圈家物理赏验室(NPL)所骚展的软醴验镫程序，蓝针封表面粗度分析软髓中的 滤波功能逛行验搔。我们以自行阳骚之数攘焘生器，焘生多组不同波畏之弦波波形监计算其王毛方根 值，接著将造些波形数攘逐一锻入待验软髓中，孰行该软醴之滤波功能後，再计算表面参数肋数值。 藉由尺g值舆均方根值之比值，舆ISO11562所规筢之高斯滤波器的滤波函数曲缘造行比封後，可得 知此软髓之滤波功能舆理擒值之差吴。文中以一套市售软醴舆一套自撰软髓作岛验镫封象，结果市售 软髓明颓地舆ISO规耗不一致，而自撰软醴之偏差量小於市售软醴。 1．前雷 遇去软髓验嚣流程程常使用於软髓裂造蔼的品赁管制流程内，它协助软髓裂造蓠监控软 髓於我展中的每佃瑕箭，韭碴保彀针出之软髓能麴符合使用者之需求。近年东各圆一级或二 赧校正寅黢室渐渐驳冕，寅黢室之梭测倦器所附属的市售软髅，其函敷或计算功能监不全然 正磕，因此寅有软髓测弑的需要，测弑秸果亦可提供使用者决定是否接受孩软髓之依掾。 轩多牛尊髓廒、科技公司及各赧檫举寅骏室，常常官需要胯贾裂程或量测所需的相嗣倦 器彀镛，以道行梭脍、量测或裂程的逼作。然而往往兄到，顾客在媾贸俄器段借的同睛，供 臆蔺舍随著寅出的俄器，搭配一套附属的操作或计算软髓予腰客，甚至限定此套软髓馑能接 受孩畿器的输出格式。另外由於丽檠横密的考量，裂造蔺大多不腰意冈放市售软髅之原始程 式碣舆使用者。如此封於使用者而雷，遴赡俄器的同畴，等於也被迫接受其附屠或搭配的市 售软髅。封於奈米科技檠使用之梭测俄器而蓄，精密，鲴小的量测秸果更加燕法承受因软髓品 耍不良而引造的种算误差。因此，市售软髓品赞的傻劣，更需遣一步考意舆研究，以避免所 使用的软髓影警梭测之桔果。 圈隙规艇中封於表面粗度量测之要求是以探针式量测俄(stylusinstrument)做属梭测工 具i1]凿探斜式量测俄量得待测表面形貌曲糠之後，必缀糙遇滤波器的魔理，漶掉低频的波 算[2】o早期的表面粗度量测俄多以鼋子滤波的方式，於俄器的硬髓介面中逆行魔理，然而由 於鼋腾软髓的快速演逛，近年来驳展之探针式量测饿皆搭配露膦送行资料的撷取舆分析补 算，ISO亦於1995年规钝以软髅方式逛行滤波[3】o因此，表面粗度软髅滤波功能正常舆否， 禽直接影餐丽後计算参敷之正磁性，必绠有…套测弑方法封软髓功能遘行梭测。 本文以英圆圆家物理寅黢室(National Physical [4，5]，分别封某商用表面粗度针算软髓以及男一套自行撰窝之表粗软髓，逛行测弑舆比鞍其 梏聚。 一116一 2．软髓测弑流程 敷檬J蠹生器J的流程。其馒黠在於馑需罩一套软髅(即待测软髓)，而不需舆其他更好且傻於 其。，需求等级的软髓(参考软髓)做相互比较，即可逆行待测功能的相丽计算。 圜1使用敷撩麈生器测弑软髓之流程 在耵定了软髓品赞之测弑目檩後，本测弑流程的第一步便是彀定参考秸果。一般而雷， 毅定参考秸果的方法来自於孩领域相丽的参敷规鲍橡犟或樱验法具}J等。雷所欲测弑的封象属 款软倦卦算某一参敷的功能特性畴，在参考秸果骰定之後可做属麈生参考敷掾的依掾，而需 要自行撰宿的敷操崖生器亦可依此而建立。另外，参考秸果也是做属最後舆测弑秸果比较的 依檬。 。 敷掾麈生器的功用在於麈生一簟或敷簟的参考敷掾，且必须礁保凿适些参考敷竦程由待 测参数之公式计算之後，所得到的种算辖果，能舆所彀定的参考秸果一致。敷掾麈生器的程 式撰瘸，保透遇参敷的计算公式或参敷的特性东毅计。另外在撰瘸程式的同畸，鑫可能使其 特性项目的遴挥舆段定，能遵循相丽檩犟规艇的要求，如此所麈生的敷操资料才具有一定的 可信度。 糨由敷拣麈生器麈生参考敷撩峙，臆输入所需的规格段定，以符合所毅定之参考黠果。 另外必须注意崖生之参考敷掠所储存的槽案格式，需使待测软髓能绚蓣入韭逆行吾}算。此外 若欲遭一步礁积所崖生的参考敷操是否正碴燕禊，可再邃挥另外较具公信力的程式或软髓， 剿参考数探逛行待测参敷