连续式陶瓷高温金属化炉的研制研究.pdf

连续式陶瓷高温金属化炉的研制 皮乐民，李征 (北京中础窑炉设备制造有限责任公司，北京 100049) ManufactureoftheContinuousFurnacefor High CeramicMetallization Temperature PILe—min，LI Zheng Furnace (BeijingZhongchuCo．，Ltd．，Beijing100049，China) Abstract：The thefurnacefor in of introduced ceramicmetallization paperbriefly hightemperature aspects etc．It theworkofthe and purpose，style，structure，characteristicsemphasized import，digestion inthefurnace． manufacture Keywords：Metallization；Furnace；Atmosphereprotected；Home 摘要：简要介绍了陶瓷金属化炉的用途、类型、结构形式、特点等内容，以及在高温陶瓷金属化炉的引进、消化吸收、国产 化方面所作的工作及经验、教训等。 关键词：陶瓷金属化；窑炉；保护气氛；国产化 中图分类号·TQl74文献标识码：A 文章编号：1002—8935(2006)04—0074—04 真空电子器件的用途非常广泛，已经应用于几 1窑炉各系统介绍 乎所有的国民经济领域。在其制造过程中，陶瓷与 1．1炉体结构部分 金属通常不能直接封接，而要先将陶瓷表面进行金 卧式金属化炉主体结构分为入口炉门、入口横 属化。目前国内外最常用的金属化工艺是Mo—Mn舱、入口过渡段、预热段、高温段、自然冷却段、水冷 法，金属化温度多在1450～1600℃，也称高温金属 段、出口横舱、出口炉门等部分。 化法。 1．1．1耐火主体 金属化的烧结工艺需在H2保护条件下进行， 预热、高温和自然冷却段是用耐火材料砌筑在 采用的烧结设备有立式炉和卧式炉两大类。立式炉 牢固、气密性的金属外壳之内。高温内衬为氧化铝 属间歇式炉，其特点是可烧结尺寸较大的产品；温度 含量在95％以上的刚玉莫来石材料，炉顶为拱形结 曲线可随不同产品变化；生产安排灵活，可随时开 构，充分保证了高温下的结构强度，不会塌顶。保温 炉、停炉；各温度段的H2露点可以严格控制，但产 层按窑体不同温度部位选用不同材质由高温到低温 量受到限制。卧式炉属连续式炉，适合予工业化大 批量生产，但要求产品规格尽量一致，烧结温度曲线 等，所有标型砖均选用高精度的磨加工砖。高温滑 不要经常变化，炉内各段H2的露点控制也比较困