铂薄膜导热特性的分子动力学模拟研究.pdf

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：083468 11 11 铂薄膜导热特性的分子动力学模拟铂薄膜导热特性的分子动力学模拟 铂薄膜导热特性的分子动力学模拟铂薄膜导热特性的分子动力学模拟 1，2 1 黄小鹏 ，淮秀兰 1 2 （中国科学院工程热物理所， 中国科学院研究生院，北京，100190） (Tel: 01082543108, Email: hxl@) 摘要：本文采用非平衡态分子动力学 （NEMD ）方法模拟分析了纳米铂 （Pt ）薄膜的导热性能。对 Pt 薄膜的法向导热系数进行模拟后发现，100 nm-500 nm 铂薄膜的法向导热系数比体材料值低很多，而且 低于其面向导热系数，显现出明显的尺度效应。对纳米铂薄膜在激光脉冲下的温度响应结果表明，微 米铂薄膜的温度响应时间在纳秒量级，适用于爆发沸腾研究中微秒级激光脉冲下的温度测量；在脉冲 加热的初始阶段，会有一个快速非傅立叶热波沿铂薄膜厚度方向传递，该热波的传播速度约为3400 m/s。 关键词：导热系数，铂薄膜，分子动力学，尺度效应，快速非傅立叶热波 0 前言 微纳尺度传热学中所谓的微纳尺度有两层含义：一是指微纳空间尺度，二是指微纳 时间尺度。微纳尺度下的传热规律与常规尺度有显著区别，因为当传热过程发生的时间 极其迅速，空间极其微小，达到甚至小到载热粒子 （电子，声子，光子和分子）的驰豫 时间或平均自由程和波长的量级时，经典的传热规律已不再适用，尺寸效应明显[1, 2] 。 薄膜材料导热特性，是涉及到微尺度传热学、固体物理学、材料科学以及微电子、 光电子甚至薄膜生长和制备工艺等多学科和领域的具有强烈交叉学科特色的研究课题， 也是热科学中备受关注的热点问题之一。薄膜技术被引入到温度传感器领域，使得原本 具有稳定性好、测量范围宽、精确度高、重复性好等很诸多技术优势的铂电阻温度传感 器又具有了成本低廉，生产规模大等经济优势。因此，薄膜铂电阻温度传感器在工业应 用、航空航天和科学研究中都得到了广泛的应用。比如用在本课题组关于爆发沸腾的研 究中[3] 。而尺寸效应的存在，使得研究薄膜铂电阻的导热特性包括导热系数和超短激光 脉冲下的温度响应变得非常重要。而目前对于厚度在微纳米级的薄膜的导热系数的测量 要么非常困难，要么所用仪器非常昂贵，因此在飞速发展的计算机技术推动下日益强大 的分子动力学便成为一种经济而有效的研究手段。为此，本文将采用非平衡态分子动力 学（NEMD ）方法模拟铂薄膜在恒定热流作用下的温度分布，得出其导热系数，以及在 超短脉冲激光作用下的温度响应过程。 1 铂薄膜法向导热系数的模拟 [3] 爆发沸腾实验中铂薄膜电阻实验件结构如图 1 (A) 所示 。在石英基底上真空喷溅 一层铂金属薄膜，膜的两端制成外引线 （银线）。为了和实验数据进行比较，本课题组还 [4] 建立了相关的理论模型 ，而理论模型中铂薄膜法向导热系数是一个非常重要的参数。