键合界面对面发射激光器光与热性质的影响!-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (’ % ##$ % ， ， ， -O; ,(’ IO , % 29BE= ##$ （ ） ###8%7#K##$K(’ #% K $)#8#4 J.RJ 6ST/H.J /HIH.J ##$ .=:* , 6=UD , /OE , 键合界面对面发射激光器光与热性质的影响! ! 何国荣 郑婉华 渠红伟 杨国华 王 青 曹玉莲 陈良惠 （中国科学院半导体研究所，北京 ###$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##’ % ’ ##’ ( ) 通过界面有效吸收系数的计算及界面对腔模的反射率的影响可知，采用双面键合技术制备面发射激光器应使键 合界面处于驻波场分布零点位置，同时界面厚度应该小于 以使器件光学性能受界面吸收系数的影响较小 采用 # *+ , 有限元方法分析-./01 温度分布，结果证实薄的键合界面使-./01 有源区温度对界面的热导率和电导率改变不敏 感，而厚的键合界面将可能使有源区温度有较大地升高，给器件带来严重的不良影响, 亲水键合和疏水键合的/02 照 片说明疏水处理界面较薄，适合用于器件的制备 而亲水处理界面厚度 ，对器件的光、热特性不利 , 3 )# *+ , 关键词：键合，面发射激光器，热导率，电导率 ： ， ， !## 4(## )(5 )(6 双面键合技术的引入使得-./01 器件的有源 F 引 言 层与L5M 之间多了两层键合界面，键合界面的引入 必然影响-./01 器件光、热性能，此方面的研究工 近红外的长波长面发射激光器（ ）由于其 作较少，因而本文专门对此做了相应的理论分析 -./01 , 动态单模、低阈值特性、便于耦合和大规模集成等优 势在光通讯、光互连上有着重要的应用， G9H*IJDK F 结果和分析 G9JD，H*JDK H*G9JD，H*G9JD6K H*6 及 J;G9H*JDK H*6 等 材料系是这个波段常用的有源区材料, 其中 双面键合 -./01 中，通常采用的键合都是 ［］ ， 有源区在材料生长方面 键合4 ， 材料的失配将使得键合 G9H*IJDK G9JD H*JDK H*G9JD G9JDK H*6 , G9JD H*6 ［，］ 仍存在着问题 ，而采用传统方法制备连续激射的 界面成为从一