压电微压传感器研究.pdf

压电微压传感器+ 朱同淑1 李书相2杜宏亮2王丽坤2 1．北京邮电大学北京100876；2．北京信息工程学院北京 100101 摘要：论文介绍了一种新颖的压电微压传感器．它主要由敏感元件和内置前置放大器组成，敏感元 件为单晶形结构．前置放大器为高输入低输出的电荷放大器，它将压电晶片的高输出阻抗转换成低输出 响应时间40um，固有频率8．5kHz．与现有的同类型传感器比较，它具有灵敏度高，结构简单，成本低 的优点． 关键词：压力传感器压电原理结构特性 1．引言 众所周知，压电压力传感器用于检测动态压力，其灵敏度高和响应速度快。现在压电压力传感器已设计 出各种各样的结构，如：悬臂梁，膜板，圆柱体，复合多晶片，旋转叉，等等。这些传感器结构复杂，成本 太高。本文研究的目的是设计一种结构简单，价钱便宜的能检测微小压力的传感器。 2．工作原理 2．1工作原理 工作原理如图1所示，根据压电效应，压电元件在外力的作用下在元件的两个表面上产生交变电荷。 中Q是压电晶体表面的电荷数量，F是作用在压电晶体上的力。根据方程(2)，Q随F成正比地变化，这样 作用在压电晶片上的力可通过测量压电晶片表面上的电荷来检测出来。 2．2结构 本传感器的结构如图2所示。它包含检测单元，前置放大器，隔离框架，垫圈，隔板，和外壳。片状 压电单晶片粘贴在金属衬片上，形成单晶片敏感元件。金属薄片固定在金属外壳的底部，金属外壳与前置放 大器的地线相连，形成一个屏蔽腔。由于传感器有一个很高的信噪比，压力通过金属外壳底部的孔作用在金 属衬片上，带动压电片产生变形，从而产生电荷，再经前置放大器放大并转化成电压输出。 图1压电原理 图2传感器的结构 上面提到的压力传感器有如下特点：1．灵敏度高。敏感元件的内表面不受力，在外力作用下可自由振动， 继而产生较大的形变和电荷。2．抗干扰能力强。传感器封装在屏蔽腔内，能有效地屏蔽外部干扰。另外，传 。基金：北京自然科学基金(编号：KZ200410772016)． 220 感器内置的放大器为高输入阻抗和低输出阻抗放大器，有效地抑制了负载和导线分布电容的影响。3．结构简 单?制作成本低j压电敏感单元是从市场上买到的，著旦场效应管是批量生产的，所以成本低： 3．传感器电路 压电元件的容抗很高造成电缆的分布电容和噪声信号干扰 较大，影响输出特性。因此设计引入了前置放大器来进行高阻 前置放夸器广匕hE(V购 抗向低阻抗的转换。传感器的电路如图3所示。前置放大器主 要由J型场效应管和二极管组成，场效应管的输入电阻要高于 200M Q，频率范围2Hz,-一20kI-Iz。二极 Q，输出电阻要小于100 管抑制了场效应管输入端的反向电流，对场效应管起保护作用。 在图3中，E表示电源电压，R表示与场效应管连接的负载电 一≈镧．．{ 阻。 传感器的输入电压几乎与电缆的分布电容无关，因此能减 图3传感器电路 轻外部干扰的影响。输出电压能通过改变电阻R的阻值来调整。 4．性能 压电微压传感器具有静态性能和动态性能。静态性能用于描述传感器对稳态输入信号的响应，而动态性 能用于描述传感器对周期性、瞬态和随机信号的响应。 4．1静态性能 静态性能包括测量范围，灵敏度，线性度。取两个样品(1撑和2撑)，用标准压力和待测系统动态信号来 传感器输出电压，结果如表1。 表l传感器的静态性能 、 O O．2 0．4 0．6 0．8 1．O l撑 1．856 1．935 2．005 2．08l 2．163 2．234 2撑 O 0。086 0，168 0．261 0．345 0．426 一 在表1中的数据，是用最少均方误差准则做出的．相应的方程式