减压层流等离子体射流温度的热电偶测量研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：093073 减压层流等离子体射流温度的热电偶测量 1 1 2 1 孟显 ，潘文霞 ，陈熙 ，吴承康 1 2 ( 中国科学院力学研究所，北京 100190 ； 清华大学工程力学系，北京 100084) (Tel: 010 Email: mengxian@imech.ac.cn) 摘要：用WRe-5/26 热电偶，尝试测量减压直流电弧纯氩层流等离子体射流的温度。结果显示，热电偶 测得的温度随弧电流和真空室压力的增加而增加，随距发生器出口的轴向和径向距离的增加而减小， 然而，热电偶所测得的温度远低于采用光谱法所得到的结果。考虑稀薄气体效应对传热的影响，本文 对热电偶的测温结果进行了理论分析。 关键词：层流等离子体射流；温度测量；减压；传热；热电偶。 0 前言 在低于大气压以至数十帕条件下产生的减压热等离子体仍具有较高的温度和能流 密度，参数均匀性及稳定性均优于大气压局域热力学平衡等离子体。同时，减压条件保 证了环境气体的种类及真空室压力可根据工艺要求进行调控。因此，近几十年来，减压 热等离子体在高可靠性和稳定性的特殊性能新材料的制备领域得到了快速发展，如用于 制备高质量的金刚石膜、SiC 膜、超高温陶瓷涂层等[1, 2]。等离子体射流温度是表征射 流特性的一个基本而重要的参数。通常在大气压环境下，当被测气体的温度和速度不太 高时，热电偶常被用来测量气体的温度。但是，在低气压条件下，等离子体射流与热电 偶间的对流换热、热电偶向周围环境的辐射散热以及沿热电偶丝的热传导散热这些传热 机制中，对流换热变得较小，热电偶测温可能会有较大的误差。 近年来，本课题组自行研制了具有较大阳极出口直径的减压非转移式直流等离子体 2 5 发生器[3]，在10 ~10 Pa 的环境压力范围内，产生出了流动稳定且随输入参数有规律地 变化、可重复性好的层流等离子体射流。本文以该减压层流等离子体射流为研究对象， 在改变真空室压力及弧电流的条件下，应用 WRe-5/26 热电偶尝试测量射流的温度；进 而在考虑稀薄气体效应的条件下，对热电偶测温误差进行了理论分析。 1 实验方法 -4 减压层流等离子体射流的产生条件：工作气体为纯氩，气流量为1.25×10 kg/s ；弧 电流为80 A～110 A，真空室压力为170 Pa～2000 Pa 。图1为普通数码相机拍摄的减压层 流等离子体射流的照片，产生条件分别为：(a)弧电流80 A，真空室压力170 Pa；（b ）弧 电流110 A，真空室压力170 Pa；(c)弧电流80 A，真空室压力2000 Pa 。图中的数字标示发 生器阳极出口直径为60 mm。从图中看到，在真空室压力相同时，随着弧电流的增大， 资助项目：国家自然科学基金(Nos. 60 mm (a) (b) (c) 图1 纯氩层流等离子体射流的普通数码照片。(a: 弧电流80 A，真空室压力 170 Pa ； b: 弧电流110 A，真空室压力170 Pa; c: 弧电流80 A，真空室压力2000 Pa) 射流的发光区尺寸有所增加，射流中心的高温区略有变亮；而当弧电流一定时，随着真 空室压力的增加，射流发光区直径显著变窄，但射流高温区明显变亮，表明射流中心温 度的升高以及径向温度梯度的增大。 采用的WRe-5/26 热电偶的丝