减压直流等离子体射流波动特性研讨.pdfVIP

中国工程热物理学会 传 热 传 质 学 学术会议论文 编号：083208 减压直流等离子体射流波动特性研究 郭志颖 潘文霞 黄河激 孟显 ( 中国科学院力学研究所, 北京 100190) (Tel: 010 Email: wxpan@imech.ac.cn) 摘要：采用高速摄像仪拍摄等离子体射流高温区瞬时形貌以及静电探针检测射流中瞬时离子电流，探 讨了纯氩减压直流非转移弧等离子体射流的波动特性。结果表明，在气流量4.4～17.6 slm、弧电流80 A 、 4 真空室压力165～10 Pa 的条件下，当气流量较小或者真空室压力较低时，射流流场呈现较好的稳定性， 随着气流量和真空室压力的增加，射流能量分布的空间和时间稳定性逐渐变差，离子电流信号变得紊 乱而无规律可循。 关键词：减压热等离子体 静电探针 高速摄像 波动特性 实验检测 0 引言 随着高新技术发展的需求，高可靠性和稳定性的特殊性能新材料不断出现，这些材 料的制备和加工大多是在非常规的以及相对高可控的稳定工艺环境和过程中实现。工作 压力低于大气压，而又明显高于一般冷等离子体工作压力的“低气压”，国际同领域多用 “减压”条件相称的热等离子体材料制备工艺，正是应这种实际应用需求而产生并很快 [1-4] 得到了发展 。然而，目前为止，对该类等离子体射流的研究，多数是从材料工艺的角 度，依据对这类等离子体的直观、经验性认识，提出一些见解。对减压条件下热等离子 体本身物理机制的研究仍远未深入系统。因此，有必要对减压条件下热等离子体射流的 波动特性进行研究，为高可控的等离子体材料制备工艺方案设计提供数据积累。 测量弧电压、射流光强信号和拍摄射流形貌是比较常见的研究射流波动特征的方法 [5-7] 。在等离子体射流的产生过程中，弧电压的波动必将导致输入射流能量的相应波动。 光强信号的波动一定程度反映射流的内能变化，主要表现为温度波动并影响对材料的加 热效果及工艺稳定性。高速摄像技术可以观察射流高温区的瞬时形貌变化情况，有助于 直观并整体地了解射流波动特性。 本文利用静电探针和高速摄像技术，观测了减压纯氩热等离子体射流的离子电流变 化特性和射流高温区的瞬时形貌，分析了射流流动状态随气流量和真空室压力变化的规 律。 1 实验方法 静电探针的具体结构如图 1，探针采用直径为 0.3 mm 的钨丝制成，外侧套装内径 0.5 mm、外径1 mm、长度为35 mm 的氧化铝管，用以保证探针间的绝缘，探针露出氧 化铝管的长度为2 mm 。氧化铝管和钨丝利用耐高温无机胶固定在氮化硼支撑台上，氮 资助项目：国家自然科学基金(No10621202) 化硼支撑台上开有2 个直径0.5 mm，垂直距离为1 mm 的通孔，用以定位探针之间的距 离。氮化硼支撑台装在真空室内的平动和升降杆上，可使探针沿射流轴向和径向移动。 实验电路如图2 所示，直流稳压电源在两探针之间施加15 V 偏置电压，此时探针上电流 为离子电流，电阻R 为阻值500 Ω的无感电阻，通过示波器实时采集电阻R 两端的电压 信号，以反应离子电流的瞬时变化。实验中所用示波器通道间相互隔离且不共地，采样 时间为纳秒量级，可实时显示离子电流的瞬时变化。当探针两端偏压固定时，探针上离 子电流的大小主要反映射流中离子密度的变化。因此，通过检测离子电流的波动特性， 可一定程度了解射流的波动情况。 选用每秒可拍摄300-120000帧的高速摄像仪，以及焦距50 mm、最大光圈0.95的镜 头，通过真空室的观察窗连续拍摄射流高温区的瞬时形貌。 [8] 等离子体发生器由实验室自行设计加工 。等离子体射流的产生条件为：工作气体 为纯氩，气流量范围为4.4～17.6 slm，工作电流为80 A，整个系统工作在真空环境中， 4 真空室压力变化范围为165～10 Pa 。等离子体发生器由全波整流型直流电源供电，电源