光学薄膜制造简介.pdfVIP

2010/1/12 1 光 学 薄 膜 ——制造工艺 • 1、目的 • 2、什么是光学薄膜 • 3、为什么要镀膜 • 4、真空镀膜的工艺流程 • 5、真空工艺 • 6、蒸镀方式 • 7、检测手段 2010/1/12 2 光 学 薄 膜 ——制造工艺 目的 • 1、了解镀膜基础知识 • 2、熟悉镀膜操作流程和注意事项 • 3、提高操作人员的技术水平 • 4、解释各种操作规定的原因 2010/1/12 3 光 学 薄 膜 ——制造工艺 你所知道的关于薄膜产品有那些? 眼镜片 眼镜片 滤光片、反射镜 装饰品 类金刚石膜 2010/1/12 4 光 学 薄 膜 ——制造工艺 什么是光学薄膜 可以用三个常用的英文来形象的解释： Optical thin films 通常意义的光学薄膜； Optical coatings 一般来讲薄膜敷于 光学玻璃、塑料、晶体等基底上； Optical layers 光学薄膜的一个特 点是分层结构； 光 学 薄 膜 ——制造工艺 为什么要镀膜 • 折射率为1．52的玻璃敷有折射率为1．38的氟 化镁薄膜后，单面的反射损失可从4.2%减少到 1．5%左右，例如7块平板系统镀膜后，在参 考波长上总的透射率可近似地估计为： • T＝(0．97)7 ＝80．7%． • 未镀膜：T=(0.92)7=55.7% • 这比没有经过镀膜处理的系统提高了约25％的 透射能量 2010/1/12 6 光 学 薄 膜——制造工艺 为什么要在真空下镀膜 主要原因： 1、真空状态下，膜料的熔点温度和蒸发温度要比在大气状态下低得多。比如在大 气状态下，沸点温度是100℃，而在高山顶上，由于气压低，其沸点温度就不到 100℃了。气压低也就是有了一定的真空度。对高熔点的氧化物膜料，在真空状态下 其熔点要低得多。也就容易到蒸发温度而不需太高的能量。 2、真空状态下，真空室中空气极少，膜料分子从蒸发源到达基片表面的路程中几 乎不与残留在真空室中的气体分子碰撞，即分子自由程长。膜料容易沉积在基片上。 3、由于真空室中气体分子少，因而氧分子、硫分子等化学活泼分子也少，高温状 态的膜料分子就不会与之发生化学变化，从而保证膜层的膜料纯度。 光 学 薄 膜——制造工艺 光学薄膜的应用 光在通过分层媒质时，来自不同界面的反射光、透射光 在光的入射及反射方向产生光的干涉现象，人们正是利用 这种干涉现象，通过改变材料及其厚度等特性来人为的控 制光的干涉，根据需要来实现光能的重新分配。 提高光学效率、减少杂光。如高效减反射膜、高反射膜。 实现光束的调整或再分配。如分束膜、分色膜、偏振分 光膜就是根据不同需要进行能量再分配的光学元件。 通过波长的选择性透过提高系统信噪比。如窄带及带 通滤光片、 长波通、短波通滤