非均匀热场条件下多晶硅定向凝固研究-core.pdf

44 8 人 工 晶 体 学 报 第 卷 第 期 Vol． 44 No． 8 2015 2015 8 JOUＲNAL OF SYNTHETIC CＲYSTALS August ， 年 月 非均匀热场条件下多晶硅定向凝固研究 ， 朱徐立 洪永强 ( ， 361005) 厦门大学机电系 厦门 摘 : ， ， 要 设计一种辐射加热装置环状布置的多晶硅定向凝固设备 通过构建非均匀热场 使硅熔体侧壁区域温度高于 ， ， ， ， 中央区域 在熔体密度差的作用力下 液相自然对流强度加剧 使固液界面富集的杂质加速汇聚至熔体表面 提高 ， 。 杂质提纯效率 并在满足工艺要求的同时达到节能目的 进行数学建模和数值模拟研究来阐述该热场的设计原 ， 。 ， ， ， 、 理 并通过试验验证 试验表明 环状加热方式使晶粒生长方向略微外倾 相对于传统加热方式 其能耗更低 并提 高了除P 、Al 效率。 : ; ; 关键词 多晶硅 定向凝固 对流 中图分类号:O78 文献标识码:A 文章编号:1000-985X (2015)08-2260-06 DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2015.08.040 Directional Solidification of Polycrystalline Silicon in Non-uniform Thermal Field ZHU Xu-li ，HONG Yong-qiang (Department of Mechanical and Electrical Engineering ，Xiamen University ，Xiamen 361005 ，China) (Ｒeceived 9 April 2015 ，accepted 20 May 2015) Abstract :A directional solidification equipment with annular radiation heat device is designed for polysilicon purification． By constructing an inhomogeneous hot field ，the temperature of the lateral wall of the silicon melt