精微复合光学元件设计与量产制程之研发.pdf

行 精量 精 精 類 行 年年 行 祥 參理 理林龍 理怜 理 理 年 ■ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 精微複合光學元件設計與量產製程之研發－ 子計畫二：複合光學元件超精密模仁加工技術開發(II) 計畫類別：□ 個別型計畫 ■ 整合型計畫 計畫編號： NSC 98-2221-E-492 -003 執行期間： 98 年 08月 01日至 99 年 07月 31日 計畫主持人：許巍耀 共同主持人：郭慶祥 計畫研究人員：鄭源傑、林文龍、廖伶怡、吳俞儒 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：■精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位： 中 華 民 國 99 年 10 月 7 日 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 慢刀伺服刮削應用於微陣列透鏡研究 The Study of Micro Lens Array Fabrication Using Slow-Tool-Servo Shaping 計畫編號： NSC 98-2221-E-492 -003 執行期間： 98 年 08月 01日至 99 年 07月 31日 計畫主持人：陳峰志 共同主持人：郭慶祥 計畫研究人員：鄭源傑、林文龍、廖伶怡、吳俞儒 中文摘要 近年來微陣列透鏡廣泛應用於光學系統之勻光用途，諸如微投影機、液晶顯示器等成 像系統，皆需藉此類光學元件進行光源的整束與能量的均 勻化。然而，雖然目前有許多製 造微陣列透鏡的方法，不過對於透鏡的曲率半徑與良率都較難以精確的掌控。本研究應用 超精密加工技術中慢刀伺服刮削工法，製作高品質、高密度之微陣列透鏡模仁，並使用3D 共軛焦顯微量測系統，進行輪廓分析與檢測。經由實際加工與量測結果顯示，慢刀伺服刮 削工法，可以製作出百分之百填充率之微陣列透鏡，其曲 率半徑與結構間距誤差可控制小 於2μm範圍。最後經實驗結果，微陣列透鏡可以有效地將雷射點光源整束成面光源，並應 用於雷射微投影機。 關鍵字： 微陣列透鏡、慢刀伺服刮削 Abstract: Recently, micro lens array are widely applied in optical system for uniform the laser source. This paper focused on the fabricating and meas