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传感器技术 第1章 传感器技术基础 教材： 《传感器原理与应用》黄贤武、郑筱霞，电子科大出版社、高等教育出版社 2018年1月29日星期一 光纤光栅位移计 索尼α700采用的新型CMOS传感器 2018年1月29日星期一 一 传感器的概念与发展 1．1 传感器基本概念 传感器定义 传感器的发展 2018年1月29日星期一 1．2 传感器的构成与分类 传感器一般由敏感元件、转换元件、调理电路组成。 电量 2018年1月29日星期一 表1 传感器的分类 分 类 法 型 式 说 明 按构成基本效应分 物理型、 化学型、生物型 分别以转换中的物理效应、化学效应等命名 按构成原理分 结构型 以其转换元件结构参数特性变化实现信号转换 物性型 以其转换元件物理特性变化实现信号转换 按能量关系分 能量转换型 传感器输出量直接由被测量能量转换而得 能量控制型 传感器输出量能量由外源供给,但受被测输入量控制 按作用原理分 应变式、电容式、压电式、热电式等 以传感器对信号转换的作用原理命名 按输入量分 位移、压力、温度、流址、气体等 以被测量命名（即按用途分类法） 按输出量分 模拟式 输出量为模拟信号 数字式 输出量为数字信号 Sensor static Characteristics formula Nonlinearity (often called Linearity) 理论直线法 端点连线法 “最佳直线”法 最小二乘法 Hysteresis Repeatability Sensitivity Drift 温漂、零漂 Precision 2018年1月29日星期一 2．1．2 传感器的动态特性 微分方程 传递函数 2018年1月29日星期一 阶跃响应特性 0 t0 u（t）= 1 t0 （a）一阶系统 （b）二阶系统 2018年1月29日星期一 阶跃响应曲线 （a）一阶系统 （b）二阶系统 2018年1月29日星期一 衡量阶跃响应的指标有： （1）时间常数τ 传感器输出值上升到稳态值yc的63.2％所需的时间。 （2）上升时间Tr 传感器输出值由稳态值的10％上升到90％所需的时间，但有时也规定其他百分数。 （3）响应时间Ts 输出值达到允许误差范围2％所经历的时间，或明确为“百分之二响应时间”。 （4）超调量a1 响应曲线第一次超过稳态值之峰高，即a1 =ymax+yc，或用相对值a=﹝（ymax- yc）/ yc﹞×100％表示。 （5）衰减率φ 指相邻两个波峰（或波谷）高度下降的百分数：φ=﹝（an－an＋2）/ an﹞×100％。 （6）稳态误差ess 系无限长时间后传感器的稳态输出值与目标值之间偏差ζss的相对值： ess=（ζss / yc）×100％。 2018年1月29日星期一 2．1．2．3 传感器典型环节的动态响应 常见的传感器通常可以看成是零阶、一阶或二阶环节，或者是由上述环节组合而成的系统。 2018年1月29日星期一 1．零阶环节 零阶环节的微分方程和传递函数分别为 式（2-16） 式（2-17） 式中K——静态灵敏度。 可见零阶环节的输入量无论随时间怎么变化，输出量的幅值总与输入量成确定的比例关系，在时间上也无滞后。它是一种与频率无关的环节，故又称比例环节或无惯性环节。 在实际应用中，许多高阶系统在变化缓慢、频率不高的情况下，都可以近似看作零阶环节。 2018年1月29日星期一 2．一阶环节 一阶环节的微分方程为 (2-18) 令 τ= al／a0——时间常数； K= b0／a0——静态灵敏度。 则式(2-18)变成 （2-19） 2018年1月29日星期一 其传递函数和频率特性分别为: (2-20) (2-21) 2018年1月29日星期一 幅频特性和相频特性分别为: (2-22) (2-23) 2018年1