第9章-电子光学基础详解.pptVIP

电子在磁场中要受到磁场作用力： 即 圆周运动 切向运动 向轴运动 * 当电子走到C点位置时，Br的方向改变180，Ft随之反向，即在C处有一离轴作用力，可以抵消与A点相当的向轴作用力， 由于磁场中心部分比两旁的强，因此在A、C中心部分受到特别大的向轴力是抵不掉的，电子继续向轴偏转。出磁场后又是直线运动。这条直线与轴成?角，并与轴交于O’点。 * 有极靴的透镜极靴使得磁场被聚焦在极靴上下的间隔h内，h可以小到1mm左右。在此小的区域内，场的径向分量是很大的。计算透镜焦距f的近似公式为： 电子显微镜可以提供放大了的像，电子波长又非常短，人们便自然地把电子显微镜视为弥补光学显微镜不足的有利工具。 E加速电压；S极靴孔径；I通过线圈的电流强度；N线圈每厘米长度上的圈数；F透镜的结构系数 * O z 图1-4 带铁壳的带极靴的透镜 O’ * 有极靴 B（z） 没有极靴 无铁壳 z 图7-3 磁感应强度分布图 * 电磁透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨距离，对电镜分辨本领起作用的象差有几何象差（球差、象散等）和色差。 几何象差是因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的； 色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。 三. 电子透镜的像差与分辨本领 * (一) 球差 定义：球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。 成因：远轴的电子通过透镜折射得比近轴电子要厉害的多，以致两者不交在一点上，结果在像平面成了一个漫散圆斑，半径为 还原到物平面，则 为球差系数。 为孔径角，透镜分辨本领随 增大而迅速变坏。 减小措施：减小 ；缩小 * α P’ 像 P’’ 透镜 物 P 光轴 * 定义： 由于透镜的磁场周向不对称所引起的一种像差。 成因：磁场不对称时，就出现像散。有的方向电子束的折射比别的方向强，如图所示，在A平面运行的电子束聚焦在PA点，而在B平面运行的电子聚焦在PB点，依次类推。这样，圆形物点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半径为 还原到物平面 为象散引起的最大焦距差； 透镜磁场不对称，可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不对称性，或极靴材料各向磁导率差异引起。 减小措施：减小 和 ；像散可由附加磁场的电磁消像散器来校正。 (二) 像散 * 平面B PA 透镜平面 物 P 光轴 PB fA 平面A * 定义：色差是由于电子的能量不同、从而波长不一造成的。 成因：电子透镜的焦距随着电子能量而改变，因此，能量不同的电子束将沿不同的轨迹运动。产生的漫散圆斑还原到物平面，其半径为 是透镜的色差系数，大致等于其焦距； 是电子能量的变化率。 减小措施：减小样品厚度；稳定加速电压 (三) 色差 * 能量为E的 电子轨迹 像1 透镜 物 P 光轴 能量为E- E的 电子轨迹 像2 * 引起电子束能量变化的主要有两个原因： 电子的加速电压不稳定； 电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。 使用薄试样和小孔径光阑将散射角大的非弹性散射电子挡掉，将有助于减小色散。 在电子透镜中，球差对分辨本领的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正，而其它象差，可以通过一些方法消除。 PAY ATTENTION * (四) 理论分辨距离 光学显微镜的分辨本领基本上决定于像差和衍射，而像差基本上可以消除到忽略不计的程度，因此，分辨本领主要取决于衍射。 电子透镜中，不能用大的孔径角，若这样做，球差和象差就会很大，但可通过减小孔径角的方法来减小象差，提高分辨本领，但不能过小。 * 显微镜的分辨极限是 电镜情况下， ， 因此 可见，光阑尺寸过小，会使分辨本领变坏，这就是说，光阑的最佳尺寸应该是球差和衍射两者所限定的值。 * 相对应的最佳光阑直径 式中的f 为透镜的焦距。将 代入可得 目前，通用的较精确的理论分辨公式和最佳孔径角公式为 将各类电镜缺陷的影响减至最小，电子透镜的分辨本领比光学透镜提高了一千倍左右。 * 四. 电磁透镜的景深和焦长 电磁透镜分辨本领大，景深大，焦长长。 景深是指在保持象清晰的前提下，试样