[理学]透射SEM介绍.pptVIP

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  • 2018-02-15 发布于浙江
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[理学]透射SEM介绍

第九章 透射电子显微镜 §9-1 透射电镜主要结构 §9-2 透射电镜电子图象形成原理 §9-3 透射电镜样品制备 §9-4 电子衍射及结构分析 透射电子显微镜 透射电子显微镜是利用电子的波动性来观察固体材料内部的各种缺陷和直接观察原子结构的仪器。尽管复杂得多,它在原理上基本模拟了光学显微镜的光路设计,简单化的可将其看成放大倍率高得多的成像仪器。一般光学显微镜放大倍数在数十倍到数百倍,特殊可到数千倍。而透射电镜的放大倍数在数千倍至一百万倍之间,有些甚至可达数百万倍或千万倍。 §9-1 透射电镜主要结构 电镜的基本组成包括电子枪(光源)与加速级管、聚光系统、成像系统、放大系统和记录系统。光路上主要由各种磁透镜和光阑组成. 1.照明系统 2.成像放大系统 1).物镜 2).光阑 3).中间镜、投影镜 M总=M物×M中×M投 3.显象记录系统 请看下图 电子枪 电子枪的类型有热发射和场发射两种,大多用钨和六硼化镧材料。一般电子枪的发射原理与普通照明用白炙灯的发光原理基本相同,即通过加热来使整个枪体来发射电子。电子枪的发射体使用的材料有钨和六硼化镧两种。前者比较便宜并对真空要求较低,后者发射效率要高很多,其电流强度大约比前者高一个量级。 热发射的和场发射的电子枪 热发射的电子枪其主要缺点是枪体的发

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