[工学]第5章 压电式传感器.pptVIP

由于σx=σy=σz=σ ，且d31=d32 ， 所以： qx=(2d31+d33)σ 高分子压电薄膜及拉制 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 压电式脚踏报警器 高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应） （4）压电半导体材料 如ZnO、CdS 、ZnO 、CdTe，这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可测取力和温度等参数。 (5)铌酸盐系压电陶瓷。 5.3 压电元件的常用结构形式 5.3.1 压电元件的基本变形方式 1.对能量转换有意义的石英晶体变形方式： (1)厚度变形（TE方式）：利用石英晶体的纵向压电效应 Qx=d11·Fx 或 qx= d11·σx (2)长度变形（LE方式）：利用石英晶体的横向压电效应 Qy=d12·Fy·Sxx /Syy 或 qx= d12·σy (3)面剪切变形（ FS (Face shear)方式）： qx= d14·?yz (X切晶体) qy= d25·?xy (Y切晶体) (5)弯曲变形 （BS (Bending shear)方式）： (4）厚度剪切变形（TS (thickness shear)方式）： qy= d26· ? xy (Y切晶体) (a)厚度变形 (b)长度变形 (c)面剪切变形 (d)厚度剪切变形 (e)体积变形 2.压电陶瓷的变形方式 (1)厚度变形（TE方式）： Q=d33·F (2)长度变形（LE方式）： Q=-d32·F·SX/SY=-d31·F·SX/SY (3)体积变形方式（VE :volume expansion方式）： qx= d31·σx+ d32·σy + d33·σz 5.3.2 压电元件的结构形式 （a）压电晶片的并联 （b）压电晶片的串联 并联: Q串=Q，U串=2U，C串=C/2 串联: 在这两种接法中，并联接法输出电荷量大、本身电容大、时间常数大，适宜用测量慢信号并且以电荷作为输出量的情况。而串联接法输出电压大、电容小，适宜用于以电压作为输出信号、并且测量电路输入阻抗很高的场合。 当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。可把压电传感器看成一个静电发生器，如图(a)。也可把它视为两极板上聚集异性电荷，中间为绝缘体的电容器，如图(b)。其电容量为 ＋＋＋＋ ―――― Q Q 电极 压电晶体 Ca (b) (a) 压电传感器的等效电路 当两极板聚集异性电荷时，则两极板呈现一定的电压，其大小为 5.4 等效电路与测量电路 因此，压电传感器可等效为电压源Ua和一个电容器Ca的串联电路，如图(a)；也可等效为一个电荷源Q和一个电容器Ca的并联电路，如图(b)。 Q Ca Ua Ua＝Q/ Ca Q ＝UaCa Ca （a）电压等效电路 （b）电荷等效电路 压电传感器等效原理 传感器内部信号电荷无“漏损”，外电路负载无穷大时，压电传感器受力后产生的电压或电荷才能长期保存，否则电路将以某时间常数按指数规律放电。这对于静态标定以及低频准静态测量极为不利，必然带来误差。事实上，传感器内部不可能没有泄漏，外电路负载也不可能无穷大，只有外力以较高频率不断地作用，传感器的电荷才能得以补充，因此，压电晶体不适合于静态测量。 如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时,则应考虑连线的等效电容,前置放大器的输入电阻、输入电容。 Ci 前置放大器输入电容;Cc 连线电容;Ra传感器的漏电阻;Ri前置放大器输入电阻 Ca Ra Cc Ri Ci Q 电压源等效电路 电荷源等效电路 可见，压电传感器的绝缘电阻Ra与前置放大器的输入电阻Ri相并联。为保证传感器和测试系统有一定的低频或准静态响应，要求压电传感器绝缘电阻应保持在1013Ω以上，才能使内部电荷泄漏减少到满足一般测试精度的要求。与上相适应，测试系统则应有较大的时间常数，亦即前置放大器要有相当高的输入阻抗，否则传感器的信号电荷将通过输入电路泄漏，即产生测量误差。 压电式传感器的灵敏度有两种定义： （1）电压灵敏度，Ku=U／F，它表示单位力所产生的电压； （2）电荷灵敏度，Kq=Q／F，它表示单位力所产生的电荷。 它们之间的关系为： 5.4.2 压电