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钕掺杂氧化锌薄膜的形貌分析
年 月 天水师范学院学报
2007 9 Sep.,2007
第 卷 第 期
27 5 JournalofTianshuiNormalUniversity Vol.27No.5
钕掺杂氧化锌薄膜的形貌分析
张修兴 文 军 李芳菊
, ,
渭南师范学院 物理系 陕西 渭南
( , )
714000
摘 要 通过 和 分析了 掺杂 薄膜的表面形貌 表明随着 掺杂量的增加 薄膜的结晶度
: XRD AFM Nd ZnO , Nd ,ZnO
变差 薄膜表面变得粗糙 晶格畸变增大。
, ,
关键词:钕掺杂; 薄膜; ;
ZnO XRD AFM
中图分类号: + 文献标识码: 文章编号: ( )
TN304.21 A 1671-1351 2007 05-0032-03
再放入研钵内研磨 细化 充分均匀混合 再次压
, 、 ,
成块状靶材 放入高温电炉内恒温烧结 炉温冷却
前 言 , ,
至室温,即得 陶瓷靶材。
ZnO
是 族具有纤锌矿结构的宽带隙半导 1.2超高真空磁控溅射镀膜设备制备薄膜
ZnO Ⅱ-Ⅵ
制备前用丙酮 无水乙醇 去离子水对玻璃衬
体材料 广泛应用于表面声波滤波 气敏 压电 、 、
, 、 、 、
底进行超声清洗 然后迅速烘干放入溅射室中 溅
平板显示 透明电极以及太阳能电池窗口等领 , ,
、
[1-3] 射室的真空度抽至 -4 以下 通入高纯度的
域。 根据原子价控制原理 在 中掺杂外来粒 2×10Pa , Ar
, ZnO
( ),衬底温度为室温。
子 如金属原子 金属离子等 可引起 的能 99.99%
( , ), ZnO
带结构 载流子浓度等的改变,并形成了新的晶相
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