传感器原理及应用第三版第2章.pptVIP

传感器原理及应用 第二章 应变式传感器 第二章 应变式传感器 2-1 金属应变片式传感器（重点） 一、金属丝式应变片 二、金属箔式应变片 三、测量电路 四、应变式传感器 2-2 压阻式传感器（简略） 一、压阻效应 二、晶向、晶面的表示方法 三、压阻系数 四、固态压阻器件 2-1 金属应变片式传感器 一．金属丝式应变片 （一）应变效应（重点，难点） （二）应变片的结构与材料（重点） （三）主要特性（难点） （四）温度误差及其补偿（难点） 二．金属箔式应变片（了解） 三．测量电路（重点，难点） （一）等臂电桥 （二）第一对称电桥 四．应变式传感器（应用）（重点） （一）柱式力传感器 （二）梁式力传感器 （三）应变式压力传感器 （四）应变式加速度传感器 2-1 金属应变片式传感器 金属应变片式传感器的核心元件是金属应变片，它可将试件上的应变转 化成电阻变化。（主要用于测力、压力及与力有关的参量） 它有以下优点: ① 精度高，测量范围广； ② 频率响应特性好； ③ 结构简单，尺寸小，质量轻； ④ 可在高（低）温、高速、高压、强烈震动、强磁场及核辐射和化学腐蚀等恶劣条件下正常工作； ⑤ 易于实现小型化、固态化； ⑥ 价格低廉，品种繁多，便于选择。 存在下列缺点： ① 大应变时存在明显非线性 ② 输出信号弱，抗干扰能力差 ③ 测量仅局限于应变片部位，周围情况不能表达 总之，通过一些补偿措施，应变式传感器仍不失为非电量电测中最常用 的敏感器件。 应变原理演示 一、金属丝式应变片 〈一〉应变效应 设一根长度l ，截面积S，电阻率为 的金属丝，其电阻 当沿金属丝的长度方向作用均匀拉力（或压力）时,上式中?、r、l 都将发生变化，从而导致电阻值R发生变化。 电阻值R的相对变化表示为： （2-2） 其中: 为截面积相对变化（ ） 为长度方向相对变化，称轴向（纵向）应变 ； 为半径方向相对变化，称径向（横向）应变 ； 为泊松比(也叫泊松系数）。 将上述式子代入（2-2），并将微分改成增量形式得： 对于金属电阻丝（1+2μ）（Δρ/ρ）/ε，金属丝应变片灵敏 系数k0主要由材料的几何尺寸变化决定，即对于用金属制成的应变片 来说，起主要作用的是应变效应（电阻的相对变化与伸长或缩短间 存在比例关系叫应变）。金属丝的μ=0.25～0.5(钢的μ=0.285)故 k0≈1+2μ，k0≈1.5～2。 对于半导体则不同：当半导体材料受到应力作用后，其电阻率发生 明显的变化，称为压阻效应。因此（Δρ/ρ）/ε=πE （1+2μ） 故可忽略（1+2μ）的影响，即对于用半导体制成的压阻传感器来说， 起主要作用的是压阻效应。半导体的k0≈ πE ≈ 50～100，灵敏度是 金属材料的几十到上百倍。 （二）应变片的结构与材料 ２．基底和盖片（绝缘材料和保护层） ３．黏结剂 ４．引线 金属应变片的主要参数： ①?基长l：又称标距，即敏感栅的纵向长度。 ②?基宽b：敏感栅的横向宽度。 ③电阻值R：指应变片未经安装也不受外力情况下于室温时所测定的电阻值。有60Ω，120Ω，200Ω，350Ω，1000?几种规格，最常用的为120Ω。 ④?灵敏度K：即单位应变引起的电阻相对变化，是应变片的重要技术参数，通常K=2。 ⑤允许电流：允许通过应变片的最大工作电流。 〈三〉主要特性 1．应变片灵敏度系数（K） 当金属丝做成应变片后，其电阻—应变特性，与金属单丝情况不同 （即 ），用实验方法对应变片的电阻—应变特性重新测定。 实验条件： ①试件受一维应力作用，应变片的轴向与主应力方向一致； ②试件材料的泊松比为0.285的钢材。 实验结果：表达式形式不变即 但K值恒小于K0， 原因:①胶层传递变形失真 ②横向效应 2．横向效应： 敏感栅在半圆弧部分，除了轴向应变起作用外横向应变也将使半 圆弧部分电阻发生变化，应变片这种既受轴向应变影响，又受横向 应变影响而引起电阻变化的现象称为横向效应。 直线电阻丝绕成敏感栅后，虽然长度相同但应变不同，圆弧部 分使K↓，这种现象称为横向效应。为减小横向效应，常采用箔式应 变片。 定义：对于已安装试件表面的应变片，在温度恒定时，增加或减少机械应变的过程中，在同一机械应变量的作用下指示应变的差数