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第六章 透射电子显微镜结构 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。 第一节 透射电子显微镜的结构 第二节 透射电镜的主要部件 第三节 透射电镜的发展 一、照明系统 照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。 电子枪是发射电子的照明光源。 聚光镜是把电子枪发射出来的电子会聚而成的交叉点进一步会聚后照射到样品上。 照明系统的作用就是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 为满足明场和暗场成像需要，照明束可在2o～3o范围内倾斜。 1、电子枪 常用的是热阴极三极电子枪，它由（发夹形）钨丝阴极、栅极和阳极组成。 阴极：又称灯丝，一般是由0.03～0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。 阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 栅极：控制电子束电流大小，调节象的亮度。 阴极、阳极和栅极决定着电子发射的数目及其动能，因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”，是透射电子显微镜的电子源。 图（a）为电子枪的自偏压回路，起限制和稳定束流的作用。 负的高压直接加在栅极上，而阴极和负高压之间因加了一个偏压电阻，使栅极和阴极之间有一个数百伏的电位差。因为栅极比阴极电位值更负，所以可以用栅极来控制阴极的发射电子有效区域。当阴极流向阳极的电子数量加大时，在偏压电阻两端的电位值增加，使栅极电位比阴极进一步变负，由此可以减小灯丝有效发射区域的面积，束流随之减小。若束流因某种原因而减小时，偏压电阻两端的电压随之下降，致使栅极和阴极之间的电位接近。此时，栅极排斥阴极发射电子的能力减小，束流又可望上升。 图（b）反映了阴极、栅极和阳极之间的等电位面分布情况。由于栅极的电位比阴极负，所以自阴极端点引出的等位面在空间呈弯曲状。 在阴极和阳极之间的某一地点，电子束会会集成一个交叉点，这就是通常所说的电子源。交叉点处电子束直径约几十微米。 进展 （1）灯丝：LaB6单晶灯丝 （2）场发射电子枪 如果在金属表面加一个强电场，金属表面的势垒就变浅，由于隧道效应，金属内部的电子穿过势垒从金属表面发射出来，这种现象叫场发射。 为了使阴极的电场集中，将尖端的曲率半径做成小于0.1微米的尖锐的形状，这样的阴极称为发射极(或者叫尖端)。较之使用LaB6单晶灯丝的热电子发射电子枪，场发射电子枪亮度要高约l00倍，光源尺寸也非常小（电子束可小至1nm）。因为这样微小的探针样子的阴极容易制作，这种场发射电子枪在分析电子显微镜中的应用正在普及。 另外，由于其电子束的相干性很好，所以，它也可用于电子全息照相术中。 2、聚光镜 由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷加入的，它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用。 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。 一般采用双聚光镜系统：第一聚光镜是强激磁透镜，束斑缩小率为10～50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为1～5μm；而第二聚光镜是弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得2～10μm的照明电子束斑。 二、成像系统 成像系统——电镜中最关键部分，作用： 将来自试样不同点同方向同相位的弹性散射束会聚于其后焦面上，构成含有试样结构信息的散射样或衍射花样； 将来自试样同一点的不同方向的弹性散射束会聚于其像平面上，构成与试样组织相对应的显微象。 1、透射电镜成像原理 1874年，阿贝(E.Abbe)从波动光学的观点提出了一种成像理论，把物体通过凸透镜成像的过程分为两步： 从物体发出的光发生夫琅禾费衍射，在透镜的像方焦平面上形成其傅里叶频谱图； 像方焦平面上频谱图各发光点发出的球面次级波在像平面上相干叠加形成物体的像。 电磁透镜成像和光学透镜成像一样可分为两个过程： （1）平行电子束与样品作用产生衍射波经透镜聚焦后在透镜背焦面形成衍射谱（衍射斑），即物的结构信息通过衍射谱呈现出来； （2）背焦面上的衍射斑发出的球面次级波通过干涉重新在像平面上形成反映样品特征的像。 晶体对于电子束就是一个三维光栅。 2、物镜 物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。透射电子显微镜分辨本领的高低主要取决于物镜。因为物镜的任何缺陷都被成像系统中其它透镜进一步放大。欲获得物镜的高分辨率，必须尽可能降低像差。通常采用强激磁，短焦距的物镜。 物镜是一个强激磁短焦距的透镜，它的放大倍数较高，一般为100-300倍。目前，高质量的物镜其分辨率可达0.1nm左右。 物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度。一般来说，极靴的内孔和上下极靴之间的距离越小，物镜的分辨率就越高。