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微电子化学品的应用和发展趋势
第 12 卷第 7 期 精细与专用化学品 Vol 112 ,No17
2004 年 4 月 6 日 Fine and Specialt y Chemicals ·1 ·
专论与综述
微电子化学品的应用和发展趋势
韩金永X
( 山东烟台凯联化工有限公司 , 山东 烟台264002)
摘 要 : 文章阐述了微电子技术及其化学品的国内外现状、发展趋势及“十五”发展目标 , 同时对目前微电子化
学品的国际标准进行了详细的描述和分析。
关键词 : 微电子技术 ; 集成电路 ; 电子化学品
Application and Development Trend of Microelectronic Chemicals
HA N Jin2yon g
( )
Yantai Kailian Chemical Co. , Ltd. , Yantai 264002 ,China
Abstract : In this paper , the present situation at home and abroad , development trend and development objective dur2
ing the Tenth Five2Year plan period of microelectronic chemicals are expounded. At the same time , the international stan2
dard of microelectronic chemicals are described and analysized.
Key words : microelectronic technique ; integrated circuit ; electronic chemicals
微电子技术是电子微细加工技术 ,主要指用于 求相结合才具有现实意义。
( )
半导体器件和集成电路 简称 IC 加工制作的一系 〔1〕
1 国内外微电子技术的发展状况
列蚀刻及处理技术。其中 IC ( 特别是超大规模的
)
IC 制造技术又是它的核心 ,是电子信息产业最重要 111 国外状况
的基础。其发展速度之快 ,是其他任何行业都无法 目前全世界已建成或在建的0 125 ～0 15μ
m 工
比拟的,据预测 ,大致每 3 年就有新的一代 IC 产品 艺水平 IC 生产线达 50 多条 ,仅美国在建或建成的
问世。 0 125～0 135μ
m 工艺水平生产线就达 17 条之多 ,
微电子化学品是电子技术微细加工制作过程中 2000 年 0 118μ
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