第7章涂膜层质量检测2.ppt

表面涂（膜）层质量检测技术（下） 7.6 涂（膜）层表面粗糙度的检验 涂（膜）层表面粗糙度测定法的分类 样板对照法 显微镜调焦法和触针法 散斑法和扫描隧道显微镜（SIM）法 1 涂（膜）层表面粗糙度测定法的分类 表面粗糙度——指表面微观不平度高度的算术平均值 对机械加工的精度要求日益提高，这首先表现在对表面质量的要求上。对于半导体掩膜、磁盘、宇宙空间用光学镜片，X射线望远镜、环形激光陀螺，均已提出高精度的测量表面粗糙度的均方根值在1nm以内的要求 涂（膜）层表面粗糙度测定法的分类 涂（膜）层表面粗糙度测定法的分类 涂（膜）层表面粗糙度测定法的分类 国标GB3505-83规定表面粗糙度参数： 与微观不平度高度有关的参数——幅值参数，对表面粗糙度表示的最通常方法（用触针法测得） 与微观不平度间距有关的参数 与微观不平度形状有关的参数 2 样板对照法 样板对照法属于比较法 最简单的一种方法是在双方同意下，用在有效期限内的实物或标准样板，用凭触（如指甲）和肉眼（可借助于放大镜，比较显微镜）作对比测定 样板对照法 ISO表面粗糙度比较样块（ISO8503/1）法 喷射磨料清理后的钢材表面都会形成难以描述的无规则的凸起和凹陷特征，该标准采用ISO表面粗糙度比较样块以直观或触摸方式进行比较的方式判定喷射清理过的表面粗糙度 样板对照法 ISO表面粗糙度比较样块→ 在ISO8503中，指定两块比较样