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安全資料表 化學品名稱: HSNE-003-T94; 氮化矽蝕刻液 SDS ID: 0286 (TAIWAN) 一、化學品與廠商資料 產品標識 化學品名稱 HSNE-003-T94; 氮化矽蝕刻液 產品用途 半導體製造 限制使用 沒有已知信息。 安全資料表供應商的詳細資料 Entegris, Inc. 129 Concord Road Building 2 Billerica, MA 01821 USA Telephone Number: +1-952-556-4181 Telephone Number: +1-800-394-4083 (toll free within North America) 製造者ヽ輸入者或供應者名稱、地址及電話： 美商英特格有限公司台灣分公司 30059新竹市水利路81號4樓之7 03-5710178 (代表號) 緊急聯絡電話/傳真電話： 0800-057-119 00801-14-8954(CHEMTREC) 03-5729520(傳真) +1-703-527-3887 (國際) 電子郵件: Product.stewardship@ 二、危害辨識資料 GHS 分類 急毒性物質- 吞食- 第4級 急毒性物質-皮膚- 第5級 急毒性物質- 吸入- 蒸氣- 第3級(0.02% 未知) 腐蝕/刺激皮膚物質- 第1級 嚴重損傷/刺激眼睛物質- 第1級 特定標的器官系統毒性物質-單一暴露- 第1級( 呼吸系統, 血液) 標示要項 圖式符號 ____________________________________________________________ 第__頁 1 共__頁 11 製表日期: 2017-05-17 修訂2.1 印刷日期: 2017-05-17 安全資料表 化學品名稱: HSNE-003-T94; 氮化矽蝕刻液 SDS ID: 0286 (TAIWAN) 警示語 危險 危害警告訊息 H331 吸入有毒。 H302 吞食有害。 H313 皮膚接觸可能有害。 H314 造成嚴重皮膚灼傷和眼睛損傷。 H370 會對器官造成傷害。(呼吸系統, 血液) 危害预防措施 預防 P260 切勿吸入蒸氣或霧。 P264 處置後徹底清洗。 P280 著用防護手套/防護服/ 眼睛防護具/臉部防護具。 P270 使用本產品時，不得飲食、喝水或抽菸。 P271 只能在室外或通風良好的環境使用。 反應 P308+P311 如暴露到或在意：呼叫毒物諮詢中心或送醫。 P310 立即呼叫毒物諮詢中心或送醫。 P304+P340 若不慎吸入：移到新鮮空氣處，保持呼吸舒適的體位休息。 P321 處置方法（見本標示）。 P303+P361+P353 如皮膚（或頭髮）沾染：立即脫掉所有沾染的衣物。用水沖洗/淋洗皮膚。 P363 脫掉的衣服須經洗滌/ 除汙後，方可重新使用。 P305+P351+P338 如進入眼睛：用水小心沖洗數分鐘。帶隱形眼鏡並可方便地取出，取出隱形眼鏡。 繼續沖洗。 P301+P330