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TFTLCD行业静电防护

去除静电 seminar 目 录 1. 静电是? 1-1 何种情况下发生静电? 1-2 带电量的基准 1-3 由于静电引起的 trouble 事例 2. 除电是? 2-1 除电是? 2-2 导体的除电方法 2-3 绝缘体的 除电方法 3. 除电器 基础知识 3-1 除电能力 3-2 电压施加方式和 各自的特点 4. 除电器的种类和选定方法 4-1 除电器的种类 4-2 除电器的 选定方法 5. KEYENCE 除电器的 介绍 5-1 除电器的种类 5-2 关于I.C.C. 制御 5-3 功能介绍 附录 I.C.C.的 详细内容 1. 静电是什么? 1-1 何种情况下发生静电? 大家都熟知静电是在两个物体摩擦时产生的。 一般 静电是因为两个物体的接触和分离(剥离),摩擦,物体的变形,ion的贴附等引起的。 ①物体摩擦时 ②接触的东西 剥离时 ③气体或液体流进 pipe hose里时 1-2 带电量的基准 1-3 由于静电引起的 trouble事例 在制造现场静电可能是导致设备停止或者不良品发生等各种各样的Trouble的原因。在此 就介绍实际上是因为静电引起而发生的trouble 事例。 ①Part feeder 堵塞 ②成型品的排出不良 ③由于吸附不良引起的 2枚移送 ④由于灰尘附着涂布偏差 2. 除电是什么? 2-1 除电是什么? 除电是 通过摩擦等方法来把集中在物体表面的静电(+, -)换成 0V的情况。 除电对策根据带电物体的不同有多种方法。若采取了错误的对策即达不到除电效果反而会因为逆带电而丢弃。 2-2 导体的 除电方法 使用接地的简单对策 铝或铁之类的金属(导电体)带电时 只要接地 带电就会变成0。 2-3 绝缘体的 带电方法 ①使用导电性高的物质(导电化) 为了使接地也不能除静电的绝缘体(树脂性物品或 橡胶)也能通过接地来除电,在产品或材料本身混合导电性(碳, 金属成分等)或涂布带电 防止剂之类的方法 叫导电化。 【对策例】 导电性 塑料 导电性橡皮sheet 带电防止spray 导电化 除电brush,ribbon的除电原理〉 (1) 把除电brush靠近带电物,,就会由于静电诱导,使跟带电物相反的极性电荷,就会集中在线前段。 (2) 集中的电荷达到一定水平的电荷量时,就会发生corona 放电,产生与集中的电荷同样极性的 ion. (3) 产生的 ion是跟带电物有相反的极性,所以会因带电物表面的静电而贴上。 (4) 发生的ion和静电气会中和,根据这个现象对象物表面上的静电就能除除。 ③-2 除电器(电压施加式) 如右图,通过往电极针上施加高电压的方法,引起corona放电,把空气 ion化,生成 +, - 各自的 离子。 若在电极针上施加 +的高电压,就会产生 +ion,若施加 –的高电压 ,就会产生 -ion. 3. 除电器 基础知识 3-1 除电 能力 除电器所需要的能力有 ① 到除电为止的时间 → 除电速度 ② 能维持 0V到什么程度 → 有2种ion balance ,一般都会表现为 EOS/ESD规格规定之内。. 3-2 电压施加方式和各自的特征 根据往电极针施加高电压的方式的不同, 有很多种特征 。 在此介绍 施加电压的方式和特征。 ①DC方式 往电极针上 施加直流高电压的方式 ●特征 由于是在1个电极针上施加直流高电压,所以 加+电源时 产生+ion, 加-电源时只产生 -ion. 因此有以下特征 Ion产生量多,除电速度快。 只产生一种 ion, 所以引起逆带电,有废掉的可能性。 (ion balance 不好) ②AC方式 在电极针施加交流高电压的方式 ●特征 是在一个电极针上施加交流高电压,所以+, -离子会交替发生。 因此有以下特征 离子发生量少,除电速度慢。 由于产生+, - 两种离子 ,所以离子balance较好。

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