《功能薄膜材料》课件PPT第6章 薄膜生长的成核长大热力学.ppt

这里以表面能作为表面张力的近似 * 临界晶核横向尺寸大小只与其内部原子键能相关，而与膜-衬底之间的原子键能无关 * 考虑应变后的情况比较复杂，因为应变既会使体自由能发生变化，也会使所有面上的表面能发生变化 * 参考书P384 也可对过饱和度或单原子自由能变化作微分考虑 * * 图示 * 图示说明扁平核与细长核的条件 实际情况中还要考虑表面钝化的影响 临界晶核横向尺寸大小只与其内部原子键能相关，而与膜-衬底之间的原子键能无关 临界晶核横向尺寸大小只与其内部原子键能相关，而与膜-衬底之间的原子键能无关 * Assuming Lennard-Jones interatomic forces Benson and Shuttleworth [1951) have found a decrease of 15% for the surface energy of a close-packed cluster consisting of 13 atoms as compared with the energy of a flat surfaxe. * 临界晶核横向尺寸大小只与其内部原子键能相关，而与膜-衬底之间的原子键能无关 04.16 * 参考书2， P147 * * 要使能够成核，需要自由能表达式的L^2的系数为负，可以得出结论 * 晶核外形为四方柱： 多变量函数极值： 讨论：同样可以用体积关系来考虑 在衬底上生长纳米线，纳米盘？ 如ZnO六方盘，六方形柱 晶核外形为圆柱： 多变量函数极值： 二维成核时的成核功： 自由能变化： 在衬底上形成单原子层的二维晶核也需要一定的成核功 有应变的情况下： 三维成核和二维成核的转变？ 不同情况下成核对比： 临界半径 成核功 均匀成核 非均匀成核 （球冠状） 非均匀成核 （四方柱） 非均匀成核 （圆柱） j q a as ai 衬底缺陷上成核： 成核功： 二、成核的原子模型 过饱和度很大时 n～很小 热力学模型(Capillarity theory)的基本假设： I. 核的形状与尺寸无关；II.核的表面自由能和体积自由能与体材料相同。 上述两点假设都不成立。 比如由13个原子组成的晶核，表面能比曲率半径无限大的时候小了15% 均匀成核： 三原子 直线 形成2个键 等边三角 形成三个键 4原子，5原子，……. 可不受晶体对称性限制 也可与体对称性不同 热力学模型 晶核大小 含有的原子数 所有可能的原子组态 各种组态的能量 近邻近似 一般考虑过程： m m n 非均匀成核： 简单立方： 产生表面和界面净增加的能量： 衬底的表面能 讨论：1、粗略近似下，成核理论的原子模型与热力学模型的结论相仿。 2、精确考虑时(量子力学计算)，自由能与核尺寸的关系分段，可能有多个最小值(magic number)。 Shangjr Gwo，Phys. Rev. Lett. 90, 185506 (2003) 原子模型下的临界核与温度的关系 临界核 最小稳定核 结合能 同质外延时的单层核与双层核： 简单立方 N 8 18 32 50 72 98 一层密排 －18UAA -45 UAA -84 UAA -135 UAA -199 UAA -274 UAA 双层密排 -16 UAA -42 UAA -80 UAA -130 UAA -192 UAA -266 UAA 4原子 直线 共7个AA键 正方形 共8个AA键 8原子 共18个AA键 双层 共16个AA键 单层 薄膜生长的三种模式 异质外延时的单层核与双层核： 简单立方 N 一层密排 双层密排 双层有利条件 8 －8UAB -10 UAA －4UAB -12UAA UAA2UAB 18 －18UAB -27UAA －9UAB -33UAA UAA1.5UAB 32 －32UAB -52UAA －16UAB-64UAA UAA1.33UAB 50 －50UAB -85UAA －25UAB-105UAA UAA1.25UAB 72 －72UAB -127UAA －36UAB-156UAA UAA1.24UAB 98 －98UAB -176UAA －49UAB-217UAA UAA1.2UAB DU1=－8UAB-10UAA DU2=－4UAB-12UAA 8个原子时，单层和双层核能量降低： 若 DU1 DU2，则双层核更稳定，即UAA 2UAB AA键显著强于AB键，A原子将尽量结合在一起，并尽量减少和衬底B原子形成的AB键数，从而形成岛状 生长模式。 思考： 面心密堆积时候单层与双层核的比较？ 有应力时候的比较？ r a ai as 完全润湿的杨氏关系： 完全不润湿的杨氏关系： 成核模式的宏