第六章压电式传感器(讲稿).pptVIP

内容提要 压电效应 1、压电效应 2、石英晶体压电效应 3、压电陶瓷晶体压电效应 4、压电材料 等效电路及测量电路 1、等效电路 2、测量电路 3、压电元件级联方式 压电传感器的应用 §6-1、压电效应 §6-1、压电效应 正压电效应 某些物质在沿一定方向受到压力或拉力作用而发生改变时，其表面上会产生电荷；若将外力去掉时，它们又重新回到不带电的状态，这种现象就称为正压电效应。 ( 加力 变形 产生电荷) §6-1、压电效应 逆压电效应 在压电材料的两个电极面上，如果加以交流电压，那么压电片能产生机械振动，即压电片在电极方向上有伸缩的现象，压电材料的这种现象称为“电致伸缩效应”，也叫做“逆压电效应”。(施加电场 电介质产生变形 应力 ) 常见的压电材料有石英、钛酸钡、锆钛酸铅等。 §6-1、压电效应 §6-1 、压电效应 §6-1 、压电效应 当沿x轴方向加作用力Fx时，则在与x轴垂直的平面上产生电荷 切片上电荷的符号与受力方向的关系 切片上电荷的符号与受力方向的关系 §6-1 、压电效应 石英晶体一种天然晶体，压电系数d11＝2.31×10－12C/N；莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。 3、压电陶瓷的压电效应 人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。 陶瓷片极化 §6-1 、压电效应 压电陶瓷片上加上一个与极化反向平行的外力，陶瓷片将产生压缩变形，原来吸附在极板上的自由电荷，一部分被释放而出现放电现象。 当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附部分自由电荷而出现充电现象。 Q —— 电荷量； d33 —— 压电陶瓷的压电系数； F —— 作用力。 4、常见的压电材料 （1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。 （2）锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3系压电陶瓷（PZT） 压电系数较高，各项机电参数随温度、时间等外界条件的 变化小，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素，可以 获得不同性能的PZT材料。 （3）铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN） 具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工 作，可作为高温下的力传感器。 §6-2、等效电路及测量电路 1. 压电元件的等效电路 2. 压电式传感器的信号调节电路 1、 压电元件的等效电路 1、 压电元件的等效电路 压电式传感器要求负载电阻RL必须有很大的数值，才能使测量误差小到一定数值以内。因此常先接入一个高输入阻抗的前置放大器，然后再接一般的放大电路及其它电路。 测量电路关键在高阻抗的前置放大器。 前置放大器两个作用: 把压电式传感器的微弱信号放大； 把传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。 （1）电压放大器 （2）电荷放大器 压电式传感器另一种专用的前置放大器。 能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，而且输出电压正比于输入电荷，因此，电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达1010~1012Ω，输出阻抗小于100Ω。 使用电荷放大器突出的一个优点：在一定条件下，传感器的灵敏度与电缆长度无关。 压电传感器与电荷放大器连接等效电路 1、压电式加速度传感器 测量原理 当传感器感受振动时，质量块感受与传感器基座相同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力的作用。这样，质量块就有一正比于加速度的交变力作用在压电片上。由于压电片压电效应，两个表面上就产生交变电荷，当振动频率远低于传感器的固有频率时，传感器的输出电荷（电压）与作用力成正比，亦即与试件的加速度成正比。 输出电量由传感器输出端引出，输入到前置放大器后就可以用普通的测量仪器测出试件的加速度，如在放大器中加进适当的积分电路，就可以测出试件的振动速度或位移。 2、压电式测力传感器 压电元件是直接把力转换为电荷的传感器。 变形方式：利用纵向压电效应的TE方式最简便。 材料选择：决定于所测力的量值大小，对测量误差提 出的要求、工作环境温度等各种因素。 晶片数目：通常是使用机械串联而电气并联的两片。 晶片电气并联两片，可以使传感器的电荷 输出灵敏度增大一倍。 3、单向压电式测力传感器 用于机床动态切削力的测量。 4、压电式压力传感器 测量均布压力的传感器 拉紧的薄壁管对晶片提供预载力而感受外部压力的是由挠性材料做成的很薄的膜片。预载筒外的空腔可以连接冷却