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微机械执行器是组成微机电系统的要素之一。如，力学执行器是将电能或其它能量转换为机械能。 理想的执行器应该是使用很少的能源，具有很高的机械效率，对机械状态和环境条件适应性强，需要时能产生高速运动，具有高的能量-质量比，在控制信号与力、扭矩和速度之间呈线性比例关系。 与传统执动器相比，微执动器的特点有 微系统加速快、速度高； 仅需极小的驱动力； 随元器件尺寸的微型化、热膨胀、振动等环境干扰因素小。 微电机 微型泵 致动形式：压电、电磁、静电、热双金属等； 流量范围：100nl~1ml/min 背压范围：0~20KPA 种类：有阀泵和无阀泵 主要部件：致动、泵膜、阀、出入口 MEMS光开关 利用MEMS技术制作的，用于切换光路的器件。 MEMS光开关的优点 较低的插入损耗 反应迅速 较宽的带宽 尺寸小，低能耗 容易大规模集成 制造成本低 MEMS光开关 驱动方式 梳状静电驱动器驱动； 电致、磁致伸缩驱动； 形变记忆合金驱动； 光功率驱动； 热驱动 功能实现方式 微镜反射型 微镜透射型 移动光纤对接型 气泡型 微镜反射型是目前应用最多的工作方式！ 2D微镜反射型光开关 2D微镜反射型光开关是在硅基底上布置的微镜矩阵。 光束通道平行于硅基底。 由于晶片大小的限制，32×32的微镜阵列是单层2D光开关可达到的最大结构极限 。 3D微镜反射型光开关 由两组MEMS微镜阵列，及一条入射光纤阵列和一条出射光纤阵列组成。 可实现单层结构多端口，但微镜角度控制复杂，难以达到高精度对准 3D微镜反射型光开关 微型光开关和光开关阵列 静电力驱动微光开关 多晶硅的悬臂梁上镀有一层金属。由于金属与多晶硅中力的不同，导致悬臂梁自然向上弯曲，抬高梁一端的微镜，使得光开关开启，光路导通。 在悬臂量和基底之间加上电压，微镜被吸引向下，从而光开关闭合，光被反射。 微镜透射型光开关 通过移动微型透镜，使传播光束发生偏转，实现光开关。 移动光纤对接型光开关 所示的微光开关是由美国加州大学戴维斯分校于1997年研制成功的，是一个1×4光开关 固定对准光纤用的燕尾槽通过硅的各向异性腐蚀制成； 气泡型光开关 由交叉的硅波导和位于交叉点的微型管道组成，微型管道填充一种与折射率匹配的液体用以允许缺省条件下的无交换传输。 当有入射光照入并要求交换时，一个热敏硅片会在液体中产生一个气泡，气泡将光从入射波导全反射至输出波导。从而起到开关的作用。 Agilent 把这种技术称为Photonic Switch Platform。 气泡型光开关 静电执行器的基本工作原理：两个带异性电荷的电极板之间具有吸引力。 从库仑定律 平板电容器 极板间作用力 如图所示，一平行板电容器是由尺寸 （或1 mm）的方板组成的。当两板间距为 ，求法向静电力。平板由静止空气隔开。 解： 作用在平板上的法向静电力 的大小，可以由公式计算出来，其中空气为 绝缘介质，相对介电常数为 ，真空介电常数为 or 从工程力学理论可以知道，宽度为w的悬臂梁，在距固定端X处施加集中载荷时，梁末端的偏移量δT可由下式给出： 其中，距离梁固定端x处的静电力q(x)为 ： 微泵的尺寸为，由静电驱动膜片、被动阀、进口和出口组成。泵用峰值为150~200V、频率从0.1Hz到10kHz的电压脉冲驱动。该泵的最大流速可达到250-850?L/min（正向）和 200-350 ?L/min（反向）。在供电电压为200V时，可达到最大背压为310cm H2O，最大流速为850?L/min。 利用热来驱动的热致动器或简单的加热器（一个电阻器）广泛应用于微机械器件中，是一种十分常见的驱动方式。从原理上分，热致动器可以分为热气动式和热膨胀式两种。 热膨胀式：利用执行器加热时本身材料的体积膨胀驱动。 热气动式：一种典型的方法是形成带有密封流体（如空气、水蒸汽和液态水等）的空腔，气腔中的流体被加热后就会膨胀，压力增大，从而推动薄膜运动。 热执行器的一个基本方案是利用两种键合材料的不同热膨胀系数，被称为双晶片热激励。 一个加热器常被夹在两层“活动”的材料中间，加电后，就会使它们产生不同的膨胀。该方案的优点包括线性的偏移量-能量关系以及环境稳定性，如这些执行器能运行于热传导相当低的液体中。 缺点包括高功耗、低带宽（由热时间常数决定）以及比静电执行器更复杂的结构。 双金属致动器也是一种热致动器，但它不利用固体的体积膨胀，而是利用固体的线性膨胀来制造微致动器。双金属热致动是通过加热，使得驱动元件本身的温度升高，结构内部产生热应力，导致薄膜产生线性应变，从而达到