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智能气体传感器概述 智能气体传感器(液位计、物位计、物位变送器、液位变送器、电容式物位计、电容式液位计、电容式物位变送器、电容式液位变送器、物位开关、液位开关、电容液位计、电容物位计、液位仪表、物位仪表、电容液位变送器、电容物位变送器、射频电容式液位开关、射频电容式物位开关、电容式液位开关、电容式物位开关、音叉式液位开关)目前尚无确切定义，通常是指具有智能功能的气体传感器。目前，智能气体传感器主要功能体现在：自校准、补偿环境变化对监测结果的影响、通信功能和对多个物理化学变量的同时监测。 智能气体传感器是应用 MEMS技术、厚膜气敏元件制造技术、厚膜混合集成电路技术、计算机神经网络模式识别技术和单片机应用等高新技术而完成的多功能气体传感器。与传统气体传感器相比，通过集成控制器 /处理器，使传感器具备逻辑功能、双向通信功能或者决策功能。 智能气体传感器按实现途径划分，最主要的类型是在检测系统中安装多个气体传感器，再配置相应处理电路来实现智能化；按传感系统与外界信息交互作用方式，可分为无线传感网络式和有线传感网络式。 国内在智能气体传感器研究方面起步较晚，技术滞后。中国科学院合肥智能机械研究所应用厚膜气敏元件制造技术、厚膜混合集成电路技术、计算机神经网络模式识别技术和单片机应用等高新技术对智能气体传感器进行了研究。汉威电子在 NDIR红外气体传感器和电化学气体传感器方面有研究，并推出了智能红外甲烷气体传感器，用于可靠性、精度要求较高的石油、化工、冶金、电力等高端行业客户，也在煤矿瓦斯监测、暖通空调 CO2监测、环境监控分析等气体检测场所推广应用。 国外，纽约州立大学 Darold Wobschall研究了基于 IEEE1451协议族的多传感单元智能气体传感器。巴特纳大学的 Hakim Baha等人报道了基于神经网络的智能气体传感技术。图 1是全球气体传感器产品种类比例示意图。 智能气体传感器的实现方式将气体传感器阵列与计算机技术相结合，组成智能气体探测系统，系统由气敏阵列、信号处理系统和输出系统组成。采用多个具有不同敏感特性的气敏元件组成阵列，利用神经网络模式识别技术对混合气体进行气体识别和浓度监测。系统能够做到迅速准确识别气体性质，判断气体种类、感知气体信息，并传输信息至处理系统，判别危害程度，形成处置方案，传输至执行系统执行。同时，将常见有毒、有害、易燃气体的种类、性质、毒性输入计算机，并根据气体的性质编制事故处置预案输入计算机。当泄漏事故发生后，智能气体探测系统将按下面程序工作：进入现场→吸附气体样品→气敏元件产生信号→计算机识别信号→计算机输出气体种类、性质、毒性及处置方案。 智能气体传感器要实现无线化，主要途径有： ●传感器通过 ZIGBEE将传感器连接形成无线传感器网络并集成到计算机。再通过计算机和 GPRS无线将信号发送到集中控制中心，进而通过互联网形成大的传感器网络。 ●在传感器上集成 RFID无线芯片，再通过 RFID无线芯片将信号直接传输到国家建设的专用无线传感器网络接收站，进而通过专用的互联网进行集成和连接，形成国家级的无线传感网络。 ●将传感器上集成具备 WI-FI功能的无线芯片，并通过各城市建设的 WI-FI网络直接连通互联网。 ●将传感器集成 GPRS无线芯片，通过 GPRS网络上传计算机，进而上传互联网形成传感器网络。 ●通过智能家庭的无线平台形成无线传感器网络。 智能气体传感器共性关键技术● 材料技术对半导体、催化燃烧式气体传感器材料的研究表明，金属氧化物半导体材料 ZnO,SnO2,Fe2O3等己趋于成熟化，特别是在 CH4、C2H5OH、CO等气体检测方面。现在这方面的工作主要有两个方向：一是利用化学修饰改性方法，对现有气体敏感膜材料进行掺杂、改性和表面修饰等处理，并对成膜工艺进行改进和优化，提高气体传感器的稳定性和选择性；二是研制开发新的气体敏感膜材料，如复合型和混合型半导体气敏材料、高分子气敏材料，使得这些新材料对不同气体具有高灵敏度、高选择性、高稳定性。由于有机高分子敏感材料具有材料丰富、成本低、制膜工艺简单、易于与其它技术兼容、在常温下工作等优点，已成为研究的热点。 在世界范围内，实用化的电化学气体传感器目前仍以液态电解质做导电解质为主流，半固态、固态电化学元件生产技术还不够成熟。最主要的电化学气体传感器生产企业有英国城市技术公司和阿尔法公司、国内的河南汉威电子股份有限公司。目前电化学气体传感器材料技术发展的重点主要在电解液从液态向半固态、固态方向发展。 红外气体传感器的关键材料是光源和滤光片，目前主要的原材料供应商都集中在欧美地区，国内只有中科院上海技术物理研究所、中科院半导