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薄膜技术与材料-第三章
第三章 气体放电 定义:一切电流通过气体的现象称为气体放电或气体导电。 特点: 1) 带电粒子和气体原子发生作用; 2) 气体原子供给部分或全部的带电粒子 (电离); 3) 发生发光,发热和化学反应等现象。 §1.气体放电的伏安特性 二.气体放电的伏安特性曲线 三.自激导电 2. ? 过程和自持放电 ? 过程:阴极因受阳离子轰击而产生二次电子的过程。 3)正离子的动能大小也影响?值 3.击穿电压和巴邢定律 若两极间的电场是均匀的 巴邢曲线 4.击穿后的放电形式 1)辉光放电; 2)弧光放电; 四.辉光放电 2.辉光放电的特性 1) 辉光放电时发出亮光,颜色因气体而异。 2) 辉光放电是中电压小电流密度放电流密度在10-1?10-2mA/cm2,电压在300?600V 3) 辉光放电主要靠阴极上发射电子的 ? 过程来维持。 4) 阴极位降区是维持辉光放电不可缺少的条件。 五.弧光放电 弧光放电也是一种自持放电, 维持电压低(10?30伏), 电流密度大(10?30安), 具有负的伏安特性。 1) 空气中两个碳电极之间产生的放电, 30 kV/cm的场强足以使间隙击穿; 2) 两电极接触加电压,通过电流,然后再分离; 3) 接触不良处产生局部高热; 4) 电场也很强; 5) 逥路电压足以维持放电。 3. 辉光放电过渡 1) 在一定的气压下增加放电电流; 2) 在一定的电流下增加气压。 * * 一.气体放电的实验装置 正常辉光放电 初级辉光放电 反常辉光放电 弧光放电 自持暗放电 被激导电及非自持暗放电 1.繁衍过程 ?:汤生第一电离系数(1/cm),一个电子在电场方向经过1厘米路程中所产生的新电子数,也即所发生的电离碰撞系数。 假定一个电子是从阴极发出的,则 x = 0, nx = 1, C = 0 单位时间进入阳极的电子数 注:1) 正离子引起次级电子发射的能量来源 于气体的电离能 电离能递减顺序 He, Ne, Ar, Xe… 2) 电子从阴极逸出要消耗逸出功; 放电发展过程中电子的增长规律 ?2(e?d-1)2e?d ?2(e?d-1)3 ?2(e?d-1) ?(e?d-1)2 ?(e?d-1)e?d ?(e?d-1)2 ?(e?d-1) e?d-1 e?d e?d-1 1 到达阴极的电 子数 气体中产生的 带电粒子对数 阴极发射的电 子数 到达阴极的 正离子数 自持放电条件:? (e?d-1) ?1 再次取对数 A和B都是与气体有关的常数,? 是与电场强度有关,但已经取了两次对数,故这一项也可视为常数,因此 Uz = f(Pd)。 Paschen 1889年在实验中得到上述关系并称为巴邢定律。 1. 辉光放电的参量分布 *
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