传感器与检测技术高教4版第六章(1105KB).pptVIP

6.5 光栅位移测试 2、莫尔条纹 （1）莫尔条纹：光栅式传感器的基本工作原理是利用光栅的莫尔条纹现象来进行测量的。莫尔条纹如图所示。 6.5 光栅位移测试 （2）莫尔条纹的特征 1) 运动对应关系：莫尔条纹的移动量和移动方向与主光栅相对于指示光栅的位移量和方向有严格的对应关系。如图所示。 6.5 光栅位移测试 2)减小误差：莫尔条纹对光栅的刻线误差有平均作用，能在很大程度上消除栅距局部误差和短周期误差影响。 3)位移放大：莫尔条纹的间距随着光栅线纹交角而改变，其关系如下： 从上式可知，θ越小，条纹间距B将变得越大，莫尔条纹有放大作用，其放大倍数为： 6.5 光栅位移测试 3、光栅的信号输出 主光栅移动一个栅距 W，莫尔条纹变化一个周期，莫尔条纹的变化近似为正弦波形，可看成是一个直流分量与的叠加，即： 为了能够辨别方向，设置了辨向环节，结构框图如示。 6.6 码盘式传感器 码盘式传感器是以编码器为基础的，它是测量轴角位置和位移的方法之一。 6.6.1 光电码盘式传感器的工作原理 光电码盘式传感器是用光电方法把被测角位移转换成以数字代码形式表示的电信号的转换部件。其工作原理 示意图如示。 1— 光源 2 — 柱面镜 3—码盘 4—狭缝 5—形成件 6.6 码盘式传感器 6.6.2 光电码盘码盘按其所用码制可分为二进码、循环码、十进码、六十进码等。 1、二进制码盘 图所示是一个四 位二进制码盘，涂黑 部分输出为 0，空白 部分输出为 1。 6.6 码盘式传感器 二进制码盘的特点为： （1） n位二进制码盘能分辨的角度为： （2）二进码为有权码，编码Cn Cn-1…C1 对应于零位算起的转角为: 6.6 码盘式传感器 2、循环码码盘 图是一个四位的循环码盘，表6.6.2 是十进制数、二进制数及四位循环码的对照表。 二进制码转换成循环 码的规则是：二进制 码与其本身右移一位 后并舍去末位的数码 作不进位加法得循环码。 6.6 码盘式传感器 若R表示循环码，C为二进制码，则： 循环码变成二进制码的关系式为： 6.6 码盘式传感器 二进制码与循环码的转换电路如图。 6.6 码盘式传感器 二进制码与循环码的转换电路如图。 6.6 码盘式传感器 6.6.3 光电码盘的应用图是一光电码盘测角装置。 ZYF62/09系列光电码盘 6.7 激光式传感器 6.7.1 激光的特性和稳频方法1、激光的特性 （1）方向性强 （2）单色性好 （3） 亮度高 （4） 相干性好 2、激光器 按激光器的工作物质可分为以下几类： （1）固体激光器：常用的有红宝石激光器、钕玻璃激光器等。 （2）气体激光器：常用的为氦氖激光器、二氧化碳激光器、一氧化碳激光器等。 6.7 激光式传感器 （3） 液体激光器：液体激光器分为无机液体激光器和有机液体激光器等。 （4） 半导体激光器：半导体激光器是比较年轻的一种，比较成熟的是砷化镓激光器。 3、激光的稳频方法 较常用的稳频方法是兰姆下陷稳频法。  6.7 激光式传感器 6.7.2 激光干涉传感器测长原理 激光干涉传感器测长原理实质是光的干涉原理，常用的是迈克尔逊双光束干涉系统。 测长的基本公式为： 激光干涉传感器以激光为光源，具有以下优点： （1）测量精度高，如测量一米长度精度可达10 -7 ~ 10 - 8 量级。 （2）分辨率高，并可测出10 – 4 nm以下的长度变化。 （3）量程大，可达几十米。 （4）便于实现自动测量。 思考题与 习题 1. 简述线位移、角位移的检测方法及测量原理？ 2. 用电容式传感器能否检测线位移或角位移？ 能否检测μm级或m m级或更大范围的位移？若能，需采用什么样的结构形式？ 3. 光栅传感器的基本原理是什么? 莫尔条纹是如何形成的? 有何特点? 4. 检测几 ~ 几十mm的较大位移，可选什么传感器？简述其工作原理。 5. 为什么采用循环码码盘可以消除二进制码盘的那种粗误差？ 6. 分析光栅传感器具有较高测量精度的原因。 7. 磁电感应式速度传感器测速度的方法及工作原理。 8. 压电式加速度传感器有哪几种主要形式，简述主要特点。 9．试用光电传感器，利用光线的反射速度，设计一个转速测量传感器，并画出测量原理框图。 10．试设计一个光电传感器，测量直线运动物体的速度，画出结构原理图，并说明工作