重复性晶圆搬运效率探讨.pdfVIP

S-02 第十四屆人因工程學會年會暨學術研討會 重複性晶圓搬運效率探討 A study of the efficiency in repetitive wafer-handling tasks 張維益*、侯政亨、張立佑、洪子耕、陳秋妹、吳欣潔 朝陽科技大學 台中縣霧峰鄉吉峰東路 168號 S9215001@mail.cyut.edu.tw 摘要 縱使高科技產品在我們的生活中普遍化，但自動化搬運系統無法完全取代人工作業。有些工作需要 人為的操作，像人工物料搬運。本研究主要目的是提升工作效率，降低疲勞問題。為了瞭解晶圓搬運工 作的工作效率，本研究探討重量、搬運頻率和搬運距離對耗氧量、心搏率和能量效率的影響。然後尋找 200-mm 和 300-mm 晶圓合適的搬運條件 。實驗結果顯示，300-mm 晶圓 (9.5 kg) 在搬運頻率 2