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第五讲 IC工艺流程知识讲稿.ppt
简单NMOS和CMOS器件平面工艺;复习：工艺流程图;硅片的类型标志;微电子制造工艺的主要内容;简单NMOS和CMOS器件平面工艺;Simple NMOS Technology;单晶硅;0.55:0.45;note self alignment;?;Simple CMOS Technology;CMOS Inverter;N-well Mask;Active Mask;Poly Mask;N+ Select Mask;P+ Select Mask;Contact Mask;Metal Mask;Other Cutaway Views;; ULSI技术中较为典型的双阱CMOS工艺制造的CMOS集成电路的一部分;现代工艺概要;双阱工艺;隔离槽技术STI（shallow trench isolation）;SOI工艺;多层技术化及焊球制备;多芯片模组技术MCM;当前热点
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