磁控溅射制备la掺杂zno纳米薄膜的微观结构及其光学特性研究-凝聚态物理专业论文 word格式.docxVIP

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2018-04-24 发布于上海
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磁控溅射制备la掺杂zno纳米薄膜的微观结构及其光学特性研究-凝聚态物理专业论文 word格式.docx

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磁控溅射制备la掺杂zno纳米薄膜的微观结构及其光学特性研究-凝聚态物理专业论文 word格式

西北师范大学研究生学位论文作者信息论文题目磁控溅射制备 La 掺杂 ZnO 纳米薄膜的微观结构及其光学特性研究姓名朱婧学号2011211216专业名称凝聚态物理答辩日期联系电_mailmailto:z163.comz163.com通信地址(邮编)：甘肃兰州市西北师范大学备注：目录摘要............................................................................................................................................................. IAbstract................................................................................................................................................... III1 绪论........................................................................................................................................................ 11.1 ZnO 晶体的基本性质和用途1ZnO 的基本性质1ZnO 的基本用途21.2 ZnO 纳米材料的研究3ZnO 的微观结构的研究4ZnO 发光材料的研究51.2.3 掺杂对 ZnO 纳米材料的影响51.3 论文的研究思路及主要内容......................................................................................................72 ZnO 薄膜的制备92.1 ZnO 薄膜的常用制备方法92.1.1 溶胶—凝胶法................................................................................................................... 92.1.2 化学气相沉积法............................................................................................................... 92.1.3 分子束外延法................................................................................................................. 102.1.4 脉冲激光沉积法............................................................................................................. 112.1.5 水热合成法..................................................................................................................... 112.1.6 化学沉积法..................................................................................................................... 112.1.7 磁控溅射法..................................................................................................................... 122.2 La 掺杂 ZnO 纳米薄膜的制备132.2.1 衬底的预处理................................................................................................................. 132.2.2La 掺杂 ZnO 纳米薄膜的制备142.3 纳米薄膜的测