刻蚀机设备管理作业规范.docVIP

浙江弘晨光伏能源有限公司 文件编号： HC–ME–OP– 文件名称 刻蚀机设备管理作用规范 版本/修订： A /0 制定部门： 设备设施部 生效日期： 2011-05 制定、修正记录 序 版本/修订 制、改日期 制定、修改内容摘要 编制 审 核 批准 1 A/0 2011.5 文件首次制定 葛建良 1.目的: 定义刻蚀机生产过程的设备操作说明及保养规范；设备验收、维修、保养、报废规范管理更具系统性，有利于做工作的传承。 : 本规范仅适用于弘晨光伏电池设备刻蚀段。 3.定义： 刻蚀：通过等离子体能量增强的反应气体进行干法刻蚀的工艺4.职责: 4.1 设备技术员负责设备调试、维护、保养；设备工程师负责的验收、维修、保养、报废处理管理。 4.2 设备工程师、主管负责监督本部门的执行状况。 4.3 本规范之变更须经设备主管或更高权责人员认可方能执行。 5.程序 设备管理内容 5.1刻蚀机设备操作说明 5.1.刻蚀机设备开关机顺序动作 1.打开总配电柜3相电源开关 2.打开设备压缩空气CDA，氮气，CF4, O2开关 3.打开设备电源及开启真空泵 5.1.2 刻蚀机设备关机顺序 1．关闭设备真空泵和设备电源 2. 关闭设备设备压缩空气CDA，氮气，CF4, O2开关 3. 关闭设备总配电柜3相电源开关 5.2设备操作 5.2.1 根据所做硅片产品的尺寸更改好工艺 5.2.2 按“运行”按钮运行工艺 5.2.3 设备技术员每天需对刻蚀机设备进行巡检并填写《刻蚀机每日点检表》 5.3 设备操作说明 5.3.1 设备紧急停止操作，信号灯确认 5.3.2 机器设置 1.选择正确的产品工艺 2.运行工艺 5.4 设备验收配件申购、使用、维修、保养、报废作业规范 5.4.1验收、配件申购 设备验收需要对设备外观，功能，类型进行确认。设备在运行期间进行调试使设备在理想状态下工作。备件申购需要填写《物料申请单》 5.4.2 维修 设备技術員在设备日常使用中，有刻蚀机设备，测试设备损坏要及时维修其需填写《维护申请单》 5.4.3 保养 由设备技术员对丝网印刷设备和测试设备进行《刻蚀机周保养表》和《刻蚀机月保养表》，《测试机月保养》表项目的保养。 5.4.4 报废 由设备工程师及主管对所报废的设备及备件确认并填写《物品报废单》。 6.附录. 6.1相关文件 无 6.1记录表格 版本/修订：A /0 文件名称 丝网印刷/测试机设备管理作业规范 页 码：第2页 /共 5页 生效日期：2011年5月 5 日 编制 审核 批准 日期 日期 日期