犁犻犎薄膜特性的研究.PDFVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ３９ ５ Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．５ 　 　 　 　 年 月 ２０１７ １０ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｏｃｔ．２０１７ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１７０５０６９８０４ 　　 新型等离子束源 制备 ： 薄膜特性的研究 犆犞犇 犪犛犻犎 王 ，黄 霞，张 月，黄惠良 　 　 　 （上海交通大学 电子信息与电气工程学院，上海 ２００２４０） 摘 要：采用等离子束源化学气相沉积（ ）设备制