复合量程微加速度计的设计讲义.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 如果设计成闭环电桥，则需要考虑影响电桥平衡的原因： (1)由于工艺的原因，各个压敏电阻的阻值不可能完全相等； (2)各桥臂由于距离不同，其连接导线的阻值会有所不同。 设计时应计算引线孔到压焊点的导线电阻，通过调整导线的长度和宽度的方法来平衡各臂的导线电阻。导线电阻与长度成正比，与宽度成反比，通过计算方块电阻来实现。此外，导线均为直线，不能为斜线。 三、结构的仿真与性能分析 1.模态仿真 加速度计本身是一个质量-弹性梁系统，在外界加速度作用下质量块发生振动，所以频响范围是加速度计的一个重要特性，在结构设计时应使系统的频响范围足够宽，而结构的固有频率是影响频响范围的重要因素。利用ANSYS软件中有限元模态分析的方法能够计算出该结构的各阶模态的固有频率及其振型。 查看分析结果时，主要判断频率值是否满足频响要求（一般要求一阶固有频率频响范围的5倍），一阶振型是否在敏感方向(z方向)内振动。 SET TIME/FREQ LOAD STEP SUBSTEP CUMULATIVE 1 26908. 1 1 1 2 35464. 1 2 2 3 59671. 1 3 3 4 72029. 1 4 4 5 0.32776E+06 1 5 5 对0-100g结构进行模态分析，得到结构的前五阶固有频率及其前三阶的振型如下所示。 结构静力学分析是ANSYS 产品的家族中7种结构分析之一，主要用来分析由于稳态外载荷所引起的系统的位移、应力和应变，其中稳态载荷主要包括外部施加的力和压力、稳态的惯性力如重力。 在该结构设计时，在结构上加载满量程加速度值（如为0-100g量程的结构，在进行静力学分析时加载100g的加速度），查看结果时，主要判断梁上的最大等效应力值是否超过硅材料的弯曲强度(80MPa)。 2.静力学分析 结构等效应力分布云图 3.路径分析 在静态求解之后通过路径分析来判断梁上的应力是否线性分布，在得到梁上应力的线性分布区域之后，在应力值最大的线性区域放置压敏电阻。 应力的线性分布区域为距离梁根部和端部20um的范围内。为了最大限度地同时满足传感器灵敏度与线性度要求，选择压敏电阻的放置区域为距离梁根部和端部20um。在每个电阻得放置位置处选取三条路径，分析电阻位置处的应力分布情况，求出电阻位置的平均横向应力与纵向应力值。 根据上述方法得到8个电阻位置的平均纵向应力与横向应力 4. 输出灵敏度分析 电桥的输出电压 输出灵敏度 5.横向输出灵敏度分析 分别在x、y轴向加载100g的加速度，求解惠斯通电桥的输出电压，得到x、y方向的横向灵敏度 6. 阻尼的分析与设计 在系统中添加粘滞流体，利用流体为结构提供阻尼力可以降低结构的振动幅值，避免结构因共振而损坏。 将梁-质量块结构等效为弹簧、阻尼器、质量块构成的二阶单自由度振动系统 ，如图所示。经分析，得 c k m 加速度计等效模型 阻尼的设计可以通过静电键合技术，在硅结构层的下面制作玻璃盖板实现。由流体力学的雷诺方程可知，调节质量块-玻璃盖板间距可以调节阻尼参数。 其中 因此得到阻尼比与质量块-玻璃盖板间距之间的关系，如图。 阻尼比的计算公式 综合考虑四种结构的性能要求以及工艺实现的精度要求，取质量块下底面与玻璃盖板之间的距离为2.3um。得到四种结构的阻尼比分别为0.827、0.676、0.585和0.499。 7.抗过载能力分析与设计 硅结构层包括框架、质量块和四根梁 ；下层为玻璃结构。静电键合间距为5um。以量程为100g的结构为例进行抗过载性能的仿真与分析。 当作用在结构上的加速度载荷 g时，