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碳纳米管在电子学中的运用 学士论文答辩 碳纳米管 在电子学中的运用 答辩人：杨铮 指导教师：施毅教授 2001.6.21 1 碳纳米管在电子学中的运用 论文的主要内容 本文对碳纳米管在电子学中的运 用进行了回顾和总结，并在最后对我 们正在进行的工作做了简单介绍。 就本文的性质而言，它主要是一 篇综述性的文章。文章从碳纳米管的 发现谈起，接着介绍了碳纳米管的基 本性质和主要制备方法，最后详细介 绍了各种基于碳纳米管的电子器件。 2001.6.21 2 碳纳米管在电子学中的运用 论文 目录 第一章 引言 第二章碳纳米管的基本性质和应用前景 第三章碳纳米管的制备 第四章基于碳纳米管的结 第五章基于碳纳米管的FET和RAM 第六章基于碳纳米管的单电子器件 2001.6.21 3 碳纳米管在电子学中的运用 第一章 引言 2001.6.21 4 碳纳米管在电子学中的运用 碳纳米管简介 碳纳米管可以看成是由石墨层卷曲而成的圆柱形管状物。 碳纳米管可以分为多壁碳纳米管和单壁碳纳米管两类。 多壁碳纳米管：由多层石墨卷曲而成的一组同轴圆柱形管。 单壁碳纳米管：由一层石墨卷曲而成的一个圆柱形管。 2001.6.21 5 碳纳米管在电子学中的运用 碳纳米管的发现 1991年，日本科学家 Sumio Iijima在NEC基础研究 实验室用HRTEM观察电弧法 制备富勒烯留下的沉积物时发 现了一些碳的管状物，如右图 所示。 这就人们第一次发现了 多壁碳纳米管。 1993年，Iijima在NEC的小组和D.Bethune在IBM的小组 又同时发现了单壁碳纳米管。 2001.6.21 6 碳纳米管在电子学中的运用 碳纳米管电子学 随着集成电路工艺尺寸的不断降低— — 由微米量级进入了 纳米量级，微电子学变为了纳米电子学，这时由于量子效应逐 渐变得显著和重要起来，硅材料所表现出来的电学性质已大大 不同于宏观时的情形。这个被称为电子学物理极限的问题在未 来可能会严重阻碍电子