测控技术仪器专第三章1123节.pptVIP

第一节 设计任务分析 扩 展 阿 贝 原 则 标尺与被测量一条线 确保导轨没有角运动 或应跟踪测量，算出导轨偏移加以补偿 补偿方法 动态跟踪测量补偿方法 定点测量补偿方法 (一) 爱彭斯坦(Eppenstein)光学补偿方法 是一种结构布局来补偿阿贝误差的方法，主要应用于高精度测长机的读数系统中。 3米测长机 1米光学测长机 尾座 头座 读数显微镜 尾座 平行光 1米光学测长机工作原理图 刻尺面 100mm刻尺 双刻线分划板 平行入射光通过透镜后成相于焦面上的一点。 M2N2与尾座联在一起 M1N1与头座联在一起 焦面 焦面 M1-N1 M2-N2 爱彭斯坦光学补偿方法 因导轨的误差产生的测量误差得到了补偿！ 阿贝误差的产生:下层工作台2经滚柱在底座1的导轨上作纵向移动，上工作台3通过三个滚珠轴承4支承在下工作台上。上工作台П型框板的左右各有两个孔眼。左面两个孔眼里装有弹性顶块5，把上工作台往左拉，右面两个孔眼里装有压电陶瓷组合体6、7，其端部顶在下工作台上。利用压电陶瓷的电场-压变效应，使上工作台相对于下工作台实现微小的平移或转角。转角将产生阿贝误差。 (二)光电补偿方法(简介) 激光两坐标测量仪中对导轨转角与平移的补偿 图3-5 激光两坐标测量仪的工作台原理 1-底座 2-下层工作台 3-上工作台 4-滚珠轴承 5-弹性顶块 6，7-压电陶瓷组合体 转角测量及校正补偿(激光小角度测量方法) (三)以动态准直仪为标准器的电学补偿方法 以动态准直仪为标准器来跟踪测量一些高精度、数字式计量仪器导轨的直线度误差，并把测得的误差值经电路处理后转换为相应的脉冲数，输入给计数器或计算机进行误差补偿。 动态准直仪测出和导轨直线度误差成比例的输出电压。 (四)标准器工作点与被测点共线的平直度测量系统 在三坐标测量机上配制标准直尺和测微表，即可作直线度测量。布莱恩提出了一种遵守阿贝原则的结构布局。 平直度测量系统的工作点应当位于垂直于滑块移动方向的，并通过被测的平直度的测量点的方向线上。如果这不可能，那么，或者必须使传送平直度的导轨没有角运动，或者必须用角运动的数据计算偏移的影响。 图3-8 平直度测量系统的结构布局 1.激光干涉仪2. 激光光路边3.测量框架4.Z轴滑块5.标准直尺6.测微表7. 激光干涉仪8. 激光器9. 激光干涉仪 10.仪器底座 11.测量框架12. 标准直尺13.隔振支承14.Y轴滑块 15. 测微表16.压电晶体17.测端 图3-9 标准器工作点与被测点的相互关系 a）正确 b）不正确 动画演示 五．遵守阿贝原则的传动部件设计 阿贝原则虽然主要是针对几何量中大量程线值测量仪器总体布局设计的一条原则，但同样适合各类仪器传动部件的设计。 图3-10 a）符合阿贝原则； 而图3-10 b）不符合阿贝原则。 图3-10 传动部件遵守阿贝原则的设计 a）正确 b)不正确 二、变形最小原则及减小变形影响的措施 变形最小原则：应尽量避免在仪器工作过程中，因受力变化或因受温度变化而引起的仪器结构变形或仪器状态和参数的变化。 1．减小力变形影响的技术措施 要从总体设计上，或从具体的结构设计上，考虑减小或消除力变形的影响。 以1M测长机底座变形的结构布局补偿为例 3米测长机 1米光学测长机 图3-11一米激光测长机结构原理 1—底座 2—干涉仪箱体 3—测量头架 4—工作台 5—尾座 6—电动机和变速箱 7—闭合钢带 8—电磁离合器 9—固定角隅棱镜 10—尾杆 11—测量主轴 12—可动角隅棱镜 13—激光器 14—分光镜 结构原理：测量头架3由电动机和变速箱6通过闭合钢带7，电磁离合器8带动在导轨上移动。工件放在工作台4上，工作台也可沿导轨移动。固定角隅棱镜9与尾座5固结在一起。可动角隅棱镜12与测量头架3内的测量主轴11固结在一起，测量主轴可在测量头架内作±5mm的轴向移动。装在干涉仪箱体2内的激光器13发出的激光束经反射镜后由分光镜14分为两路：一路到固定角隅棱镜9；一路到可动角隅棱镜12。这两束光在返回后发生干涉。 工作时： 第一步，仪器对零； 第二步，放上工件，开始测量，这时底座上既增加了重量,又改变了测量头架及工作台在底座上的位置, 底座就产生新的重力变形 如果尾座轴线相对于导轨面在垂直平面内发生5″倾斜角的零位变化（见图3－12）,设尾座中心高为200mm，则此时引起的零位的变动量为： 图3—12 测量头架位置变动的原理示意图 消除1M测长机力