大叶大学-电机工程学系
大葉大學電機工程學系貴重儀器使用規範
本校貴重儀器如電子顯微鏡等已陸續安裝完畢,爲能盡速提供本校師生研
究服務,訂定本申請使用流程與使用申請表,如附件一、二,以求有效之管理與服務。
貴重儀器採收費使用制度,以維持耗材、人事(研究生工讀費)以及教育訓練支出。各項儀器收費標準如附件三。
貴重儀器之委託操作服務時間每週只開放部分時段,由完整受訓之研究生兼任之。自行操作則全天候開放,不受此限。自行操作需經人員訓練一個月(至少四次)以上,並經資格檢定通過後,方可操作使用,儀器開放時間與人員訓練時間,如附件四。
為協助本校教師尚無計畫可支付研究經費者,訂定本校教師貴重儀器額度申請辦法,如附件五、六,以鼓勵其使用,此經費之預算由本處支出。
本辦法經系務會議通過後施行,修正時亦同。
附件二:大葉大學貴重儀器使用申請表:
【申請單位】 【預定使用時間】 月 日
午 點~ 午 點 姓名:
指導老師:
學生須指導老師簽名↓ 【樣品成份】
狀態:□塊材 □薄膜 □液體 □其他
(以上需不具毒性) 聯絡電話: E-Mail: □委託操作 □自行操作 使用儀器:
□ X光繞射儀 (XRD) □ 光罩對準儀、黃光室 □ 拋光研磨機
□ 立體光學顯微鏡 □ 原子力顯微鏡 (AFM) □ 氬離子蝕刻機
□ 掃描式電子顯微鏡 (SEM)、成份分析儀 (EDS) □ 真空濺鍍金膜儀 附件一: (欲申請使用SEM、EDS需填寫) 【樣品處理】 □固定 □高溫脫水 □真空鍍金需額外收費
【觀察條件】 放大倍率(鍍金後最高10萬倍)_____倍,加速電壓_____KV,
(範圍從10~30KV),其他(如附圖、論文或已照過之圖片)。
注意事項:樣品自行處理後直徑最大不超過40mm(最好不超過10mm),最大高度
為10mm;樣品需不含水分、強磁性、揮發性物質。 【收費項目】 □SEM影像觀察 □EDS元素分析 □真空鍍金
(限單位時間內3個小時內提供四片樣品分析服務) 附件二: (欲申請使用XRD需填寫) 【樣品量测】開始角度____(≧3),結束角度____(≦145),間隔____(。/step)
間隔時間____(sec/step)全部使用時間_______(min) 指導老師
簽名 費用 元 儀器管理者填寫 【備註】 【同意使用時間】 儀器管理者簽名
附件三:大葉大學貴重儀器使用收費標準
儀 器 名 稱 校內 校外 人員訓練 自行操作 委託操作 自行操作 委託操作 訓練費用(次) 掃描式電子顯微鏡(SEM, 含鍍金、EDS, E-Beam Writer)
陳昭翰 200元/小時 400元/小時 400元/小時 800元/小時 800元/次 原子力顯微鏡(AFM)
陳昭翰 100元/小時 400元/小時 400元/小時 800元/小時 400元/次 Ar離子蝕刻機
200元/小時 400元/小時 400元/小時 800元/小時 600元/次 光罩對準儀
陳昭翰 100元/小時 只限自行操作 400元/小時 只限自行操作 600元/次 X-Ray繞射儀
宋皇輝 200元/小時 400元/小時 400元/小時 800元/小時 600元/次 立體光學顯微鏡
陳昭翰 100元/小時 只限自行操作 200元/小時 只限自行操作 300元/次 薄膜測厚儀
范榮權 100元/小時 只限自行操作 200元/小時 只限自行操作 300元/次 真空濺鍍金膜儀
陳昭翰 100元/小時 200元/小時 200元/小時 400元/小時 300元/次 每件樣品使用時數不足一小時,則以一小時計算。
附件四:開放與人員訓練時間申請使用洽分機:21 委 託 操 作 每週(二)、(四) 下午1:00~5:00 自 行 操 作 (一)~(日)全天開放,唯需經申請、預約 人 員 訓 練 每週五早上9:00~下午 5:00 儀 器 名 稱 原子力顯微鏡(AFM) 委 託 操 作 每週(一) 上午9:00~12:00 自 行 操 作 (一)~(日)全天開放,唯需經申請、預約 人 員 訓 練 每週三早上9:00~12:00 儀 器 名 稱 Ar離子蝕刻機 委 託 操 作
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