02 微影照像用材料.pptVIP

* * 微影照像用材料 圖2.1　(a)正光阻，和(b)負光阻成像的比較 圖2.2　光阻覆蓋製程 圖2.3　(a)正光阻，(b)負光阻的特性比較 （續）圖2.3　(a)正光阻，(b)負光阻的特性比較 圖2.4　電漿預處理 圖2.5　影像反轉製程和(a)以深紫外光照像，(b)曝光後，(c)矽離子植入，(d)氧離子植入，(e)最後是光罩中透明的部份被保留了。 圖2.6　駐波現象 圖2.7　(a)繞射現象和(b)降低繞射的比較 圖2.8　一個光罩的例子 圖2.9　光罩護膜 圖2.10　接觸式曝光系統 圖2.11　步進照像系統 圖2.12　在晶圓上步進曝光 圖2.13　霧狀晶圓的對準原理