第14讲 光学平面测试.pptVIP

光学平面测试技术 南京理工大学 陈磊 2008年12月25日 参考文献 J.C. Wyant. Optical Testing. Optical Sciences Center, University of Arizona, 2008 , Chapter 7 D．Malacara, Ed. Optical shop testing 3rd Edition. John Wiley and sons, New York. 2007 Schott Technical Reports. Homogeneity of optical glass L. L. Deck et al. SPIE V5130(2003),pp.555-562 ZYGO Corp. GPI Ritchey-Common Application Manual 杨力/主编. 先进光学制造技术. 科学出版社，2001 平面光学元件的测试 光学平面测试 光学材料均匀性 平行平板的测量 大平面的检验 WYKO干涉仪 ZYGO干涉仪（GPI XP) 波面与面形(正入射） 波面与面形(斜入射） 激光棒 激光晶体毛坯折射率分布 折射率均匀性 折射率均匀性—加折射率液 折射率均匀性 不加折射率液，面形误差产生影响 四幅干涉图法 折射率均匀性—四幅干涉图法 平行平晶的测量 波长调谐法干涉测量 波长调谐移相干涉原理 波长调谐测