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第11章 传感器电路 11.0 传感器的选择 11.1 传感器的匹配 11.2 信号处理电路 11.3 信号传输 11.4 抗干扰设计 11.5 实际传感器电路举例 二、响应特性 在所测频率范围内,传感器的响应特性必须满足不失真测量条件。实际上传感器的响应总有一定延迟,但总希望延迟时间愈短愈好。 一般讲,利用光电效应、压电效应等物性型传感器,响应较快,可工作频率范围宽。而结构型,如电感、电容、磁电式传感器等,往往由于结构中的机械系统惯性的限制,其固有频率低,可工作频率较低。 三、线性范围 任何传感器都有一定的线性范围,在线性范围内输出和输入成比例关系。线性范围越宽,则表明传感器的工作量程愈大。传感器工作在线性区域内,是保证测量精确度的基本条件。 例如:机械式传感器中的测力弹性元件,其材料的弹性限是决定测力量程的基本因素,当超过弹性限时,将产生线性误差。 四、可靠性和应用环境 可靠性是传感器和一切测量装置的生命,它是指仪器、装置等产品在规定的条件下,在规定的时间内可完成规定功能的能力。只有产品的主要性能参数,均处于规定的误差范围内,方能视为可完成规定的功能。 为了保证传感器应用中具有较高的可靠性,事前需选用设计、制造良好,使用条件适宜的传感器;使用过程中,应严格保持规定的使用条件,尽量减轻使用条件的不良影响。 例如电阻应变式传感器,湿度会影响其绝缘性;温度会影响其零漂;长期使用会产生蠕变现象。又如,对于变间隙型的电容传感器,环境湿度或浸入间隙的油剂,会改变介质的介电常数。光电传感器的感光表面有尘埃或水汽时,会改变光通量、偏振性或光谱成份等。 五、精确度 传感器的精确度表示传感器的输出与被测量真值一致的程度。传感器处于测试系统的输入端,因此,传感器能否真实地反映被测量值,对整个测试系统具有直接影响。然而,也并非要求传感器的精确度愈高愈好,还应考虑经济性。传感器精确度愈高价格越昂贵。因此应从实际出发尤其应从测试目的出发来选择。 首先应了解测试目的,判定是定性分析还是定量分析。如果是属于相对比较的定性试验研究,只须获得相对比较值即可,无须要求绝对量值,那么应在求传感器的精密度高。如果是定量分析,必须获得精确量值,因而要求传感器有中够高精确度。 例如,为研究超精密切削机床运动部件的定位精确度,主轴回转运动误差、振动及热变形等,往往要求测量精确度在0. 1～0. 01μm 范围内,欲测得这样量值,必须采用高精确度的传感器。 六、测量方式 传感器在实际条件下的工作方式,例如,接触与非接触测量、在线与非在线测量等,也是选用传感器时应考虑的重要因素。工作方式不同对传感器要求亦不同。在机械系统中,运动部件的被测量(例如回转轴的误差运动、振动、扭力矩) ,往往需要非接触测量。因为对部件的接触式测量不仅造成对被测系统的影响,且有许多实际困难,诸如测量头的磨损、接触状态的变动,信号的采集都不易妥善解决,也易于造成测量误差。采用电容式、涡电流式等非接触式传感器,会有很大方便。若选用电阻应变片时,则需配以遥测应变仪,或其他装置。 在线测试是与实际情况更接近一致的测试方式。特别是自动化过程的控制与检测系统,必须在现场实时条件下进行检测。实现在线检测是比较困难的,对传感器及测试系统都有一定特殊要求。例如,在加工过程中,若要实现表面粗糙度的检测,以往干涉法、触针式轮廓检测法等都不能运用,而代之的是激光检测法。实现在线检测的新型传感器的研制,也是当前测试技术发展的一个方面。 2 半导体温度传感器 PN结半导体温度传感器是利用半导体PN结的温度特性制成的。其工作原理是PN 结两端的电压随着温度的升高而减少。 这种传感器线性较好、测温范围小、易集成。因此, 可制成高精度、超小型的温度传感器。 3 晶体温度传感器 晶体温度传感器是利用晶体的各向异性, 并通过选择适当的切割角度切割而成, 这是一种可将温度转换成频率的传感器, 这种传感器用于计算机测量时可省去模数转换,因此,适合于计算机测温的应用。 4 非接触型温度传感器 非接触型温度传感器是利用物体表面散发出来的光或热来进行测量的。常用的非接触型传感器多数是红外传感器, 适合于高速运行物体、带电体、高温及高压物体的温度测量。这种红外测温传感器具有反应速度快、灵敏度高、测量准确、测温范围广泛等特点。 5