er3yb3共掺磷酸盐高增益光波导的制作技术分析word格式论文.docx

3.4.1基片的清洗263.4.2镀膜与光刻273.4.3离子交换27第四章银膜离子交换284.1银膜离子交换基础 284.1.1扩散方程284.1.2沟道波导294.2波导特征304.3银膜离子交换光波导的制备324.3.1 电极结构324.3.2表面折射率及厚度344.3.3电荷（Ag 膜厚度）控制 354.4银膜离子交换用于制作有源光波导 364.4.1 有源光波导的制作364.4.2操作步骤37第五章光波导的测试与分析385.1平面光波导有效折射率（传播常数）及其分布的测定 385.1.1 平面光波导有效折射率的测定385.1.2平面光波导折射率分布的确定405.2沟道波导折射率分布的确定445.3Er3+/Yb3+共掺磷酸盐玻璃光波导增益特性测试46第六章结论48参 考 文 献49致谢56附录57附录一平板波导表面折射率确定程序57附录二平板波导有效折射率分布计算程序58作者简历及攻读硕士学位期间发表的论文60第一章引言自从 Internet 产生以来，数字通信业务量以超出“摩尔”定律的速度持续增 长，而光通信技术的应用极大提高了通信网络的传输容量与速度。波分复用（WDM：Wavelength Division Multiplexing）技术从最初作为长途光纤通信系统 扩容解决方案，已经用于短距离城域网（MAN：Metropolitan Area Network）和 接入网(Access Network)，最终到达用户家里；光开关的应用增加了网络节点的 通过量，支持日益增长的语音、视频与数据等业务对带宽的需求。而用户对光器 件的要求是：高集成化、多功能、低价格。所以，光集成是下一代光器件的关键。基于波导技术的集成光器件受到了越来越广泛的关注。掺稀土元素光波导放 大器(Rare-Earth Doped Waveguide Amplifiers)是继半导体激光放大器（SLA）、掺 铒(Er3+)光纤放大器(EDFA)研制成功以来又一新型光放大器。由于掺 Er3+光波导 放大器(EDWA)的工作波长与 1.55μm 波段的光通信传输窗口相吻合以及对人眼 的安全性，十多年来一直是一个十分活跃的研究课题[1-3]。较之 EDFA，光波导 放大器能在同一衬底上提供无源的和有源的集成光路，具有损耗低、单位长度增 益高、体积小、低成本、低噪声系数、很小的极化相关性以及不存在通道间的串 扰等特点，可用作末端放大器、前置放大器、功率放大器、光纤到家（FTTH） 和光纤到街区（FTTC）网络中的无损分路器等。EDWA 能够非常简便地与任何 损耗器件组合在一起，如：分离器（splitter）、相位阵列波导、分插复用器、调 制器、光开关或者光交叉连接器等。它在城域网、本地接入网中将有很好的市场 前景，在长途主干网中也将具有一席之地[4,5]。另外，它为许多重要的应用提供 了可能，如激光雷达、激光测距、相干光学传输等方面。可见，光波导放大器是 具有相当发展需求和前景的新型通信器件。1.1 光波导放大器的国内外发展状况首例掺稀土元素的有源光波导(平面光波导)器件是在 1972 年用溅射技术制 作的掺钕激光器[6]。之后约二十年内，这一领域内无多大进展。1990 年以来掺稀 土元素集成光波导放大器(尤其是掺 Er 光波导放大器)和激光器的开发取得了很 大的进展[7]。1991 年 1 月，日本的 Kitagawa 等人[8]首次在硅衬底上用火焰脱水沉积法制 作出掺铒平板波导激光器；同年 11 月加拿大的 Honkanen 等人[9]用离子交换法获 得了掺铒磷酸盐单模玻璃光波导放大器，在 1.55μm 波长附近单位长度的增益为2dB/cm；1992年7 月，美国(贝尔实验室)的 Shmulovich 等人[10]在硅基片上制成了 1.55 μm 波段的掺铒光波导放大器，在 2.4cm 长的器件上获得 21dB 的增益，正好补 偿器件的损耗，观察到的净增益为 0。1993 年 1 月，日本的 kitagawa 等人[11]制作了 4.7mm 长的掺铒(含镱(Yb)) 光波导放大器，在 40mW 功率泵浦下，得到 13.7dB 净增益；同年美国的 Nykolak 等人[12]在氧化硅衬底上制作出掺铒薄膜光波导放大器，在 4cm 长的器件上获得 了 15dB 的增益。1996 年，Lucent 的 Ruby 等人[13]制作出了阈值功率为 8-10mW、净增益为3.7-4.5dB 的掺铒平面光波导放大器。1997 年，美籍华人 Cheng Chung Li 等人[14]制作了 1.7cm 长的掺铒光波导放 大器，其净增益为 7.2dB；1998 年，法国的 Barbier 等人[15]制作了 8.6cm 长的掺 Er/Yb 的玻璃光波导放 大器，净增益