第05章 节 电容式传感器 《电气测量》课件.pptVIP

《电气测量》第五章;电容式传感器 ;掌握变极距、变面积、变介质电容式传感器的工作原理，特点及应用。 熟悉常用电容式传感器的常用检测电路及特点。 学习应用电容式传感器。 ;电容式传感器的特点： 小功率、高阻抗，本身发热影响小; 电容器小几十～几百微法，具有高输出阻抗; 静电引力小（极板间），工作所需作用力很小； 可动质量小，具有高的固有频率动态响应特性好； 可进行非接触测量。 ;电容式传感器的应用： 传统电容式传感器主要用于位移、振动、角度、加速度等机械量精密测量。 现逐渐应用于压力、压差、液面、成份含量等方面的测量。;工作原理和结构; 当被测参数变化使得S、 d或ε发生变化时， 电容量C也随之变化。 　　电容式传感器可分为变极距型、 变面积型和变介电常数型三种。;图5-1 电容式传感元件的各种结构形式;5.1.1 变极距型电容传感器;当传感器的εr和S为常数，初始极距为d0时，由式（5-1）可知其初始电容量C0为 ;图5-3 电容量与极板间距离的关系 ; 在式（5-3）中，若Δd/d01时，则展成级数：;另外，在d0较小时，对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、 塑料膜等）作介质, 如图 5-4 所示。;表5-1 电介质材料的相对介电常数 ;（5-5） ; 云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000 kV/mm，而空气仅为3 kV/mm。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。  一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20~100pF之间，极板间距离在25~200μm的范围内。最大位移应小于间距的1/10，故在微位移测量中应用最广。 ;　　被测量通过动极板移动引起两极板有效覆盖面积S改变，从而得到电容量的变化。;电容相对变化量为 ;图5-6 电容式角位移传感器原理图 ; 图5-6是电容式角位移传感器原理图。当动极板有一个角位移θ时，与定极板间的有效覆盖面积就发生改变，从而改变了两极板间的电容量。当θ=0时，则 ;当θ≠0时， 则 ;5.1.3 变介质型电容式传感器 ;图5-7 电容式液位变换器结构原???图 ;变换器电容值为： ;图5-8 变介质型电容式传感器 ;　　图中两平行电极固定不动，极距为d0，相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中，从而改变两种介质的极板覆盖面积。 传感器总电容量C为 ; 若电介质εr1=1, 当L=0时，传感器初始电容C0=ε0L0b0/d0。 当被测介质εr2进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为 ;5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性;可见，输出电容的相对变化量ΔC/C0与输入位移Δd之间成非线性关系，当|Δd/d0|1时可略去高次项，得到近似的线性关系： ;如果考虑式（5-14）中的线性项与二次项， 则 ;图5-9 差动平板式电容传感器结构图 ;在差动式平板电容器中，当动极板位移Δd时，电容器C1的间隙d1变为d0-Δd，电容器C2的间隙d2变为d0+Δd, 则 ;在Δd/d01时, 按级数展开得 ;电容值相对变化量为 ;差动的好处;5.４ 电容式传感器的测量电路;式中： C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+Cx，其中C1为振荡回路固有电容, C2为传感器引线分布电容, Cx=C0±ΔC为传感器的电容。 ;鉴频器特性 ; 当被测信号为0时，ΔC=0，则C=C1+C2+C0，所以振荡器有一个固有频率f0, 其表示式为 ; 调频电容传感器测量电路具有较高的灵敏度， 可以测量高至0.01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强，可以发送、 接收，以达到遥测遥控的目的。 ;图5-12 运算放大器式电路原理图;由运算放大器工作原理可得 ; 式中“－”号表示输出电压Uo的相位与电源电压反相。可见运算放大器的输出电压与极板间距离d成线性关系。 　　 运算放大器式电路虽解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题，注意条件：要求Zi及放大倍数足够大。为保证仪器精度，还要求电源电压Ui的幅值和固定电容C值稳定。 ;图5-13 二极管双T形交流电桥 ;图5-13 二极管双T形交流电桥 ;当传感器没有输入时，C1=C2。 电路工作原理： 当e为正半周时，二极管VD1导通、VD2截止，于是电容C1充电，其等效电路如图5-13（b）所示；在随后负半周出现时，电容C1上的电荷通过电阻R1，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I1。 　　;当e为负半