激光直写法制备仿刚毛微纳阵列的分析-analysis on preparation of bristle - like micro-nano array by laser direct writing.docx

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2018-05-28 发布于上海
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激光直写法制备仿刚毛微纳阵列的分析-analysis on preparation of bristle - like micro-nano array by laser direct writing.docx

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激光直写法制备仿刚毛微纳阵列的分析-analysis on preparation of bristle - like micro-nano array by laser direct writing

南京航空航天大学硕士学位论文图 4.6不同间距对阵列倒伏情况的影响........................................................................... 33图 4.7一级结构连桥现象................................................................................................... 34图 5.1二级结构模型........................................................................................................... 36图 5.2方案一“两次曝光，一次显影”........................................................................... 38图 5.3方案一制备结果....................................................................................................... 38图 5.4方案二“两次曝光，两次显影” ............................................................................. 40图 5.5方案二制备结果....................................................................................................... 41图 5.6方案三“自上而下”............................................................................................... 42图 5.7几种不同形貌的二级结构阵列............................................................................... 43图 5.8弯曲顶端粘附模型及试验中阵列形态................................................................... 44图 5.9粘连、倒伏现象....................................................................................................... 45图 5.10 超声振动使粘连的阵列末端部分开....................................................................... 46图 5.11 厚胶直接曝光制备二级结构阵列 ........................................................................... 47图 6.1多功能摩擦磨损试验机系统 UMT-248图 6.2UMT 中 10g 量程的力传感器48图 6.3标定结果曲线........................................................................................................... 49图 6.4粘附力测试过程....................................................................................................... 50图 6.5阵列(d =10μm)力学测试结果50图 6.6软基底与硬基底结构阵列的粘附性能对比........................................................... 51图 6.7不同径向尺寸阵列力学测试................................................................................... 52图 6.8不同间距阵列力学测试.......................................................................................