兰姆波型声表面波无源无线温度传感器的分析-analysis of lamb wave surface acoustic wave passive wireless temperature sensor.docxVIP

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2018-05-29 发布于上海
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兰姆波型声表面波无源无线温度传感器的分析-analysis of lamb wave surface acoustic wave passive wireless temperature sensor.docx

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兰姆波型声表面波无源无线温度传感器的分析-analysis of lamb wave surface acoustic wave passive wireless temperature sensor

摘要基于声表面波谐振器的传感器具有成本低、易制作、稳定性强等优点而得到人们的广泛研究。传统的声表面波谐振器中传播的是瑞丽波，在 AlN 压电薄膜中，瑞丽波的传播速度在 5000-6000 m/s 之间。随着天线小型化的发展，器件的工作频段往 GHz 频段提升。在表声波声速不变的情况下要提高频率就需要减小叉指电极的线宽，这势必增加工艺的难度，所以通过改变声波的模式，使得器件中传播高声速的声波，对提高器件的工作频率是非常有意义的。论文首先用 COMSOL 软件分别对瑞丽型声表面波谐振器和兰姆波型声表面波谐振器进行仿真设计。瑞丽型谐振器的结构为：硅基厚度 200 μm、AlN 厚度 1.44μm、叉指电极厚度 200 nm、波长 16 μm，通过仿真可知，瑞丽波型谐振器的谐振频率为 306.08 MHz。兰姆波型谐振器的结构为：硅基厚度 25 μm、AlN 厚度 1.44 μm、叉指电极厚度 200 nm、波长 16 μm，通过仿真发现在兰姆波型谐振器中激励了七个模式的声波，它们对应的谐振频率分别 297.8 MHz、398.8 MHz、448.2 MHz、500.4 MHz、531.34 MHz、584.6 MHz、615.23 MHz。然后，本文采用光刻、腐蚀、电子束蒸发等工艺制作声表面波谐振器。制作兰姆波型谐振器时，需要对 SiO2 和 Si 进行腐蚀。在对 Si 进行腐蚀减薄时，采用二氧化硅作为保护层，另外采用硅胶对 AlN 薄膜进行保护，从而完成兰姆波型谐振器结构的制作。制作瑞丽波型谐振器时，除了不需要腐蚀 SiO2 和 Si 外，其余工艺与制作兰姆波型谐振器时一样。最后，本文采用矢量网络测试仪测试了所制作的声表面波器件。测试结果表明，瑞丽波型谐振器实测谐振频率为 305.15 MHz，兰姆波型谐振器的谐振频率分别为 294.63 MHz、398.125 MHz、435.625 MHz、482 MHz、531.625 MHz、570 MHz、613.625 MHz，测试结果与仿真结果基本一致。接着本文分别对两种谐振器所制作的温度传感器进行温度测试，得到了器件的谐振频率随温度的变化曲线，结果表明，器件的谐振频率随着温度的升高而线性降低。其中瑞丽波型传感器对温度的灵敏度为 10.77 KHz/℃，而兰姆波传感器中各个模式对温度的灵敏度分别为 10.92 KHz/℃、13.69 KHz/℃、15.86 KHz/℃、16.37 KHz/℃、18.04 KHz/℃、20.1 KHz/℃、 21.46 KHz/℃。本文还对兰姆波型谐振器中灵敏度最高和声速最大的模式进行无线温度测试，温度灵敏度为 19.15 KHz/℃。关键词：声表面波谐振器，兰姆波，瑞丽波，COMSOLABSTRACTSurface acoustic wave (saw) resonators are widely studied because it is low cost, easy to fabricate and stable. Rayleigh wave propagates in traditional saw resonator, Aluminum nitride (AlN) is widely used as piezoelectric film in which the speed of Rayleigh wave is between 5000 m/s and 6000 m/s. With the development of antenna’s miniaturization, the working frequency of devices are raised to GHz. Under the condition of not changing the speed of the surface acoustic wave, the line width of the interdigital electrode must be reduced to raise the working frequency, this will complicate the process, so it is important to change the mode of the surface acoustic wave to improve the speed to raise the working frequency of the devices.Firstly, the thesis use COMSOL to simulate and design the Rayleigh wave resonator and