机工社机械电子学-第3章 数字式测量和 与传感器 光栅.pptVIP

机械电子学;3.1 数字式测量系统的结构与特性3.2 机械装置中的常用数字传感器3.3 微机电系统传感器3.4 图像传感器3.5 MIT两轮自平衡机器人中应用的传感器;数字式测量;;数字式测量;; 光栅的定义： ;物理光栅——面积较宽节距细密的锯齿型光栅,经衍射和干涉后分散为方向不同的光束,再经聚光镜2聚光后，在屏上显出光谱线。 特点：物理光栅是利用单块光栅的衍射现象来进行测量的。;光栅式传感器;光栅式传感器;光栅式传感器;黑白光栅：用光刻法或复制法制作的黑白相间的刻线，黑线为不透光部分，白线为透光部分。;计量光栅有各种不同的分类方法。 ;;;;;; 设平均栅距为W0，即 W0=(W1+W2)/2 栅距差Δ： Δ=W1-W2 若在B内有NW和有（N+1）W个条纹重合，则： B纵=N（W0+Δ/2）=（N+1）（W0-Δ/2） 得： N=（W0- Δ/2）/ Δ 将N值代入上式得： B纵=（W02-Δ2/4）/Δ 将W0及Δ值代入 ;;;其中：B’横=（W1+W2）/2? B’纵=[（W1+W2）/2]2/（W1-W2） ;4）圆光栅的莫尔条纹 径向圆光栅的莫尔条纹：两尺寸相同，栅距角相同的径向园光栅面对面的叠合在一起并保持不大的偏心e时： 在水平直径方向——纵向莫尔条纹 在垂直于e的方向——横向莫尔条纹 其余方向都是斜向莫尔条纹 B=WR/e;4）圆光栅的莫尔条纹 切向园光栅的莫尔条纹：两尺寸相同，栅距角相同的切向园光栅面对面的叠和在一起时，形成的莫尔条纹为一系列同心圆。 B切=W/?=WR/（r1+r2);莫尔条纹的特性 光学放大作用及连续变倍作用;2. 光栅位移大小及方向同莫尔条纹的对应关系：光栅的位移与莫尔条纹的位移严格一一对应。 ;平均效应 光电元件的输出信号不是两块光栅上单根光栅刻线的输出，而是光栅通光窗口上所有栅线遮光作用的综合效果所引起的输出。因此，若其中一光栅有局部误差或短周期误差时，综合效果会使这些缺陷的影响大大减小，这种现象称为平均效应。 ;平均效应 光电元件的输出信号不???两块光栅上单根光栅刻线的输出，而是光栅通光窗口上所有栅线遮光作用的综合效果所引起的输出。因此，若其中一光栅有局部误差或短周期误差时，综合效果会使这些缺陷的影响大大减小，这种现象称为平均效应。 ;平均效应 ;莫尔条纹的特性;;;;;;光栅读数头 光栅读数头的原理和结构 常用结构有以下几种类型： 垂直入射读数头：只能用于透射式光栅；由于它的结构简单，输出信号幅度大应用非常普遍。光源通过准直透镜或者不经过光学透镜垂直照射到标尺光栅上，经指示光栅形成莫尔条纹，再经光电元件把莫尔条纹信号转变为电信号。 ;光栅读数头 光栅读数头的原理和结构 常用结构有以下几种类型： 垂直入射读数头： 2) 反射式光栅读数头：反射式读数头用于金属反射式光栅，其结构如图1.1-18所示。光源经聚光镜和场镜后成为平等光并以一定的倾斜角度投射到指示到光栅上(指示光栅是玻璃透射式光栅)，经金属反射尺反射后形成莫尔条纹，由硅光电池输出光电信号。;光栅读数头 光栅读数头的原理和结构 常用结构有以下几种类型： 垂直入射读数头： 2) 反射式光栅读数头：;光栅读数头 光栅读数头的原理和结构 常用结构有以下几种类型： 垂直入射读数头： 反射式光栅读数头： 成象式读数头：不需要指示光栅，它是把标尺光栅自身刻线的象经光学系统再反射回标尺光栅上形成光闸式莫尔条纹的一种读头。 ;光栅读数头 光栅读数头的原理和结构 常用结构有以下几种类型： 垂直入射读数头： 反射式光栅读数头： 成象式读数头：;光栅读数头 光栅读数头的原理和结构;光栅读数头 2. 光栅 读数头的设计要点 1) 主光栅 光栅栅距的选择: 常用 W=0.01~0.05 栅线宽度：典型设计：线宽(a)=缝宽(b) 主光栅的厚度 2) 对光源的要求 要求用直丝灯