金属-介质亚波长结构波导性质分析-property analysis of metal-dielectric subwavelength structure waveguide.docxVIP

南京邮电大学学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得 的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包 含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得南京邮电大学或其它 教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的 任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。研究生签名： 日期： 南京邮电大学学位论文使用授权声明南京邮电大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆有权保留本人所送 交学位论文的复印件和电子文档，可以采用影印、缩印或其它复制手段保存论 文。本文电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。除在保密期内的保密论文 外，允许论文被查阅和借阅，可以公布（包括刊登）论文的全部或部分内容。 论文的公布（包括刊登）授权南京邮电大学研究生部办理。研究生签名： 导师签名： 日期： 第一章绪论1.1 集成电子学到集成光子学六十年代初期,人们在半导体、薄膜等技术的基础上,把电阻、电容、晶体管、二极管等分 立的电路元件集成在一起,制成了起一定电路功能的集成电路。时间才过去十年,集成电路在电 子设备中已经有了比较广泛的应用,形成了一门新的学科—集成电子学。在集成电子学的启发 下,到六十年代末,就有人提出了集成光学的设想。那么,什么是集成光学呢?简单说来,把光波的 振荡、调制、接收等功能集成在一起,实现光波信号的传输,这门学问就是集成光学。从物理上 来看，与电子相比，光子具有更多的自由度，比如光子无静止质量;光子不带电荷，因此在光 子的传输中无电磁干扰等问题;光子是玻色子，从而无需遵守泡利不相容原理;光子具有干涉， 衍射，偏振等现象,具有波的特性；光子具有振幅、频率、相位等多种易于检测的状态等。所 以，光子器件本应该在信息传输等领域具有比电子器件更多的优势。但是传统的光子器件在 尺寸上比较大，主要由于在这些器件中，其芯层与包层的折射率差很小(约 0.75%)。这使得当 光波导横向尺寸变得很小时，波导对光的约束变差，光模斑变大，光场往往突破芯层的限制 而侵入到包层中。这种情况下，实际有效光场尺寸要大于光波导的横向尺寸，光波导并不能 把光有效约束，从而在相邻的两个器件引起串扰[1]。并且在传统光子器件中，光通过一个较 大的弯曲时会有很多能量散射到器件外面，弯曲损耗很大。这严重影响了光子器件的集成度， 并进而导致了光子器件的制作成本较高。当然，我们也应该看到，光子技术在近几年发展迅 速，并且有着光明的应用前景。如今，光子技术的应用不仅仅存在于人们所熟悉的远程通讯 中，还包括了数据存储、光信息处理、光计算和生物医学等诸多方面。由于光子与电子相比 具有许多独特的优势，所以无论在信息的传输、交换、存储还是处理等方面，光子都会逐渐 地取代电子。这就使得未来世界在很大程度上会成为一个光子的时代。然而，光子技术当前存在的一个主要问题就是器件的集成度不够，光子器件大部分仍为 分立型器件，这与目前己经发展成熟的超大规模集成电路技术差距甚大。微电子技术的一个 很大的优势在于它能够集成化。光子技术的发展的最终也要集成化，否则在很多方面就难以 发挥它的优势。因此，如何将更多的光子器件集成到尺寸足够小的单一芯片上是促进光子技 术的进一步发展而亚需解决的问题。从集成电子学的发展来看，减小光子器件的尺寸至亚波 长尺度以及提高集成度，将会是推动光子学发展的关键。但是，我们也可以看到，光子学尤其是集成光学，不管是在理论研究，还是制作生产方面，都与高度成熟的集成电子学存在非常大的差距。在集成光子学领域，还有许多很有价值但在理论与技术上仍需突破的研究方向， 这些研究方向是实现未来光路的超大规模集成的有效途径。要提高光子器件集成密度，关键 是要将光约束在小于衍射极限的空间内。目前，在光子器件集成领域，在国际上已经吸引研 究人员的兴趣被人们广泛认为比较有潜力能实现光子器件进一步集成的研究方向主要有以下 几种:光子晶体波导及器件，高折射率差介质波导及器件，以及表面等离子体波导及器件等。 表面等离子体波研究正是介于集成电子学和集成光学之间的过渡阶段，研究表面等离子体波 有利于集成电子学向集成光学发展，进入光子时代。1.2 表面等离子体激元的基本概念等离子体（Plasmon）是在固态物质中自由电子的集体激发状态。狭义的说，等离子体是 固体中的一种特殊状态，是由浓度相同的正、负电荷组成的体系，其中至少有一种电荷是可 以迁移的。表面等离子体波（Surface Plasmons wave, SPW）是指在金属表面存在的自由振动的电子 与光子相互作用产生的沿着金属表面传播的电子疏密波[1]。 当光照在金属表面时，在某些特 定的条件下会与导体的自由电子发生共振，电子密度在空间重新分布并振荡从而形成沿表面 传播的纵波，这