局域高掺铒钛扩散铌酸锂光波导及相关材料的分析-analysis of local high erbium-doped titanium diffused lithium niobate optical waveguide and related materials.docxVIP

摘 要局域铒掺杂钛扩散铌酸锂波导器件具有广阔的应用前景，然而在此类器件的 实际使用中发现，由于铒离子在铌酸锂晶体中的溶解度较低，致使信号光在传输 过程中的增益相对较低，进而限制了器件性能的进一步提高。本文的主要工作是 利用气相输运平衡（VTE）方法提高铌酸锂基底中的铒离子浓度，在此基础上， 制备局域高掺铒钛扩散铌酸锂光波导，并表征其相关性能。具体研究内容如下：1. 为了解决钛扩散铌酸锂条形波导中模式折射率表征困难的问题，本文中首 先制备了密集条波导阵列，结合棱镜耦合方法，实现了对条形波导模式折射率表 征。另外，还使用该方法成功表征了条形波导嵌于平面波导中的特殊结构，为长 周期波导光栅的制备奠定基础。2. 研究了影响 VTE 处理效果的因素，得到以下结论：缺锂 VTE 处理引起的 组份变化与 VTE 处理温度的关系符合 Arrhenius 定律，缺锂 VTE 处理引起的组 份变化与 VTE 处理时间的关系满足平方根方程；在富锂 VTE 时，初始粉末的配 比对处理效果的影响较小，而坩埚内部容积越大或坩埚已使用时间越长，VTE 的效果越差；但在缺锂 VTE 处理过程中，两相坩埚容积、初始粉末的配比和已 使用时长对于 VTE 效果基本没有影响。3. 通过表面抛光与组份表征交替进行的方法，总结出 Li2O 组份在深度方向 上的分布服从余误差函数的积分形式。利用 Boltzmann-Matano 分析获得 Li+离子 扩散系数与 Li2O 组份的关系：扩散系数随着 Li2O 组份的下降而下降。Li+离子 的扩散显示出轻微的各向异性，沿光轴方向的速度较快。结合之前报道的近化学 计量比区域的结果，获得了 47-50 mol%组份范围内的 Li+离子扩散系数。4. 研究了低于同成分点的缺锂 LN 晶体中铒离子的扩散系数和溶解度。当 X 切铌酸锂晶体表面的 Li2O 组份从 48.0 下降至 47.0 mol%时，铒离子扩散系数从 (3.3 ± 0.2) × 10-2 增至(5.7 ± 0.3) × 10-2 μm2/h，增加了接近一倍；铒离子溶解度随 晶体 Li2O 组份的下降而上升，当 Li2O 组份从 48.0 降至 47.7 mol%时，溶解度提 高约 0.6 mol%。进一步研究表明，在 X 切缺锂铌酸锂基底上制备局域铒掺杂钛 波导中，深度方向上的铒离子扩散系数约为(12.8 ± 0.3) × 10-2 μm2/h，远高于同成分基底中的扩散系数（ 7 × 10-2 μm2/h）。5. 制备了 Z 切 Y 传和 X 切 Z 传的高掺铒钛扩散铌酸锂光波导，表面铒浓度 分别为 1.33 × 1020 cm-3 和 1.26 × 1020 cm-3，比制备在同成分铌酸锂基底中的钛扩 散波导的表面铒浓度分别提高了 20%和 13%。通过实验和计算，获得了波导的 模场尺寸，发射、吸收截面和传输损耗。分别利用 980 和 1480 nm 泵浦光，观察波导中的 1547 nm 小信号光的增强。Z 切波导在 980 nm 耦合泵浦光功率为 100mW 时，获得了最大的信号增强为：0.9 dB/cm(TE)，0.7 dB/cm(TM)；由于光折变效应的影响，泵浦功率继续提高时，信 号增强开始降低。X 切波导的抗光折变能力较强，所以使用 980 nm 光泵浦时， 即使耦合泵浦功率提高至 200 mW，波导中信号增强也没有出现明显下降趋势， 此时的信号增强为：1.0 dB/cm(TE)，1.4 dB/cm(TM)。1480 nm 泵浦光引起的光折变效应较小，所以 Z 切波导和 X 切波导在 1480 nm 光泵浦时，信号增强都随泵浦功率的提高而提高。当耦合泵浦功率提高至 18.5 mW 时，信号增强分别为：Z 切：1.1 dB/cm(TE)，1.4 dB/cm(TM)，X 切：1.8 dB/cm(TE)，2.2 dB/cm(TM)。最后，对波导在 980 nm 和 1480 nm 光泵浦下的信号光放大性能进行了模拟。 其中，Z 切波导在 980 nm 和 1480 nm 光泵浦下的 TM 模式最大增益系数分别为 2.4 dB/cm 和 2.5 dB/cm，与之前报道的 Z 切局域铒掺杂钛扩散铌酸锂波导相比分 别提高了至少 1.0 dB/cm 和 0.7 dB/cm。本论文的研究工作中具有如下的创新点：（1）首次全面研究了影响气相输运 平衡处理效果的因素（2）首次全面研究了铌酸锂晶体在缺锂状态时锂离子的扩 散系数与晶体中氧化锂组份的关系（3）率先制备出局域高掺铒的铌酸锂晶体， 以此为基底制备出局域高掺铒钛扩散铌酸锂光波导，其中 Z 切波导和 X 切波导 表面的铒浓度分别比同成分基底中提高 20%和 13%。关键词： 局域高掺铒 钛扩散 铌酸锂光波导 气相输运平衡