套刻编程操作规范PPT.pptVIP

套刻编程操作规范;4.0输入： 键盘和鼠标，如下图： 常用的有： 1：鼠标左键，中间键和右键 2：鼠标滚轮 3：键盘“PF4”键 5.0输出： 电脑显示器以及打印机 ;6.0绩效指标： 无。 7.0责任： 编程人员有责任确保所编程序的正确性及测量数据的有效性。;8.0 KLA5100编程基本操作步骤： 8.0.1登陆 如下图所示输入”用户名“及“密码”，出现右图所示主界面;8.0.2 新建产品文件夹 如下图所示点击”File”图标，出现下页所示界面;1：在上面输入文件夹名称（以产品名作为文件夹名）? OK2: FILE ? CLOSE退出（见右图）;1：点击”setup”,进入如右图界面2: 点击“Create”，进入如下界面;1：询问是否保存之前程序（Save Changes to Current Program?)?No2：打开”Recipe”目录下的相应产品文件夹;1：以产品“XE8010”为例，选择该文件夹，如左图2：右图File name中输入程序名称（以产品名-STAGE规则），如XE8010-NGT3：点击”ok”,然后出现以下图示;1：默认选项为“KLA Defaults”,不需要改动，直接点击”OK”，出现右图2：点击‘Parameters”，出现下图;1：输入该产品曝光场