多机能革新技术的研究会.pdfVIP

1/20 多機能革新プラズマ技術研究会 大気圧非平衡プラズマによる ナノマテリアル創成 大学院理工学研究科 グローバルCOE （エネルギー学理 の多元的学術融合） 特任准教授 野崎智洋 大学院理工学研究科 機械制御システム専攻 教 授 岡崎健 平成20 年3月25 日 13:30〜16:45 於すずかけホール２階集会室１ 2/20 大気圧非平衡プラズマとは・・・圧力とプラズマ温度の関係 非平衡プラズマ 熱プラズマ 電子温度 短パルス化 （DBD） ] K [ 微小化 度 （マイクロプラズマ） 温 マ 微減圧 ズ （メゾプラズマ） アフターグロー ラ プ 微小化 ガス温度 短パルス化 圧力 [Torr] 圧力 [Torr] 高密度媒体（大気圧気体，超臨界流体，液中，粉体，生体）で形成 される反応性プラズマ（電子温度＞１万℃，ガス温度＜2000℃） 3/20 大気圧非平衡プラズマの特徴  ストリーマタイプの放電 1857年，Siemensにより考案された誘電体バリア放電がポピュラー。オゾン合成法とし て注目を集め，1897-1910年，ヨーロッパを中心に浄水場で大規模なオゾン合成プラン が建設された。現在では，空気清浄，殺菌など，ガス処理を中心に広く利用されている。 ※オゾンの発見：1840年。 ~ 誘電体（絶縁物）  タウンゼントタイプの放電 1988年，上智大学の岡崎・小駒教授らのグループ により考案された日本発の新技術。減圧下のグ ロー放電と類似していることから，大気圧グロー放 電と呼ばれる。表面改質，CVDなど基礎・応用研究 が行われている。 4/20 環境分野への応用：クリーニング技術 プラズマの高い反応性を利用してほとんどの有害物質を分解・除去できる．最終 生成物は種々の酸化物で無害な物質として固定・除去される． 空気浄化，排水処理，家電製品に数多く利用されている． 水処理プラント・化学 物質除去，滅菌を同 プリント基板クリーニング プラズマ洗濯機・空気清浄機 時に実現 有害